單極脈沖磁控濺射電源適用于金屬、合金及石墨等靶材鍍制純金屬膜、碳膜和部分氧化物、氮化物及碳化物膜。其優點是能明顯改善靶面電荷積累現象，減少濺射靶表面的打火次數，提高膜層質量。輸出波形為單極脈沖。電源具有平均電流穩流功能。
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品名 |
脈沖磁控濺射電源 |
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型號 |
BP系列 |
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輸入 |
相數 |
三相+N |
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電壓 |
380V |
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頻率 |
50Hz |
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輸入方式 |
4線（含零線） |
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輸出 |
波形 |
脈沖 |
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功率 |
10KW~100KW（可定制） |
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電壓 |
0—1200V（可定制） |
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穩定度 |
≤1% |
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電流 |
0—100A（可定制） |
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穩定度 |
≤1% |
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紋波及雜訊 |
≤2% |
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效率 |
≥90% |
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控制 |
控制方式 |
標準方式：恒壓/高低壓切換 |
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可選方式：恒流、恒壓、恒功率可切換 |
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控制接口 |
標準方式：面板手動 |
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可選方式：面板手動、PLC模擬接口、RS485(Modbus) |
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保護 |
具備缺相、過熱、限壓、恒功率、過壓、過流、短路、超載等保護功能 |
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冷卻 |
風冷或水冷 |
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外型 |
防護等級 |
IP21 |
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單元尺寸 (W*D*H) |
箱體：440(W)X260(H)X580(D) （20KW風冷） 面板：482(W)X280(H) |
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重量 |
30KG（20KW） |
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備注 |
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