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PiezoMotor壓電電機(jī)
PiezoMotor是基于壓電材料的微電機(jī)的開(kāi)發(fā)商和生產(chǎn)商,產(chǎn)品廣泛用于生命科學(xué)儀器、半導(dǎo)體、光學(xué)和工業(yè)自動(dòng)化等行業(yè),例如半導(dǎo)體加工設(shè)備、納米定位系統(tǒng)、高級(jí)光學(xué)應(yīng)用、主動(dòng)自動(dòng)對(duì)焦系統(tǒng)、微透析泵和手術(shù)機(jī)器人等。
PiezoMotor特殊的超聲壓電技術(shù)使緊湊型電機(jī)具有很高的精度和真正的直接驅(qū)動(dòng),如LL06、LT20 和LT40等直線電機(jī)與歐元硬幣的尺寸對(duì)比。
Piezo LEGS® 與摩擦驅(qū)動(dòng)一起工作,其中力由壓電陶瓷致動(dòng)腿的預(yù)緊力產(chǎn)生,與轉(zhuǎn)子或驅(qū)動(dòng)桿直接摩擦接觸。當(dāng)腿開(kāi)始行走時(shí),它們始終與驅(qū)動(dòng)桿保持機(jī)械接觸。
通過(guò)向陶瓷施加電壓信號(hào)來(lái)創(chuàng)建受控運(yùn)動(dòng),步長(zhǎng)取決于負(fù)載,如下圖所示:一個(gè)完整的步驟可以分為數(shù)千個(gè)微步,微步長(zhǎng)可達(dá)亞納米級(jí)。
針對(duì)高微步分辨率優(yōu)化的波形。
微步 = 波形的一部分(整步);例如每個(gè)波形 8192 微步。
》直線運(yùn)動(dòng)0-80 mm行程
》非常高分辨率-納米級(jí)別甚至更高
》力范圍從幾牛頓到 450 牛頓
》緊湊的設(shè)計(jì)使小型化成為可能
》零背隙和自鎖
》無(wú)磁性,不產(chǎn)生磁場(chǎng),可真空兼容
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