1. CF法蘭（ConFlat Flange）CF法蘭采用金屬刀口-金屬刀口的密封方式，通過壓緊實(shí)現(xiàn)超高真空密封，通常使用無氧銅等金屬密封圈。其適用的真空度最高可達(dá)10?¹² mbar，常用于超高真空系統(tǒng)。
2. KF法蘭（Quick Flange）KF法蘭是一種快卸式法蘭，通過卡箍實(shí)現(xiàn)快速裝拆，操作方便。它通常使用橡膠密封圈（如Viton），適用于低真空或中真空場景，最高可滿足10?? mbar的真空度要求。
3. ISO法蘭ISO法蘭是一種國際標(biāo)準(zhǔn)化的法蘭，常用于大尺寸真空系統(tǒng)（通常直徑超過50mm）。它主要有兩種形式：
除了上述類型，真空法蘭還可根據(jù)連接方式分為螺紋法蘭、活套法蘭等。螺紋法蘭通常用于焊管連接，而活套法蘭（松套法蘭）便于拆卸且對管道不產(chǎn)生附加力矩，適用于內(nèi)襯脆性材料的低壓容器。
在選擇真空法蘭時，需考慮其抗壓性、抗沖擊性、密封性能以及適用的真空度范圍。此外，法蘭的材質(zhì)（如304或316不銹鋼）和密封材料（如Viton、無氧銅）也會影響其性能和使用壽命。
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