全自動晶圓下蠟后清洗臺

適用產(chǎn)業(yè)為半導(dǎo)體照明（LED）--減薄工藝段；制程應(yīng)用：去蠟清洗制程；手動、自動控制模式；適用對象為藍(lán)寶石晶片2-8inch25 Pcs/cassette 1 cassette/ Batch  Or  2 cassette/ Batch；砷化鎵晶片2-6inch25 Pcs/cassette 1 cassette/ Batch  Or  2 cassette/ Batch；碳化硅晶片 2-8inch 25 Pcs/cassette 1 cassette/ Batch  Or  2 cassette/ Batch；基本規(guī)格 機臺封面 聚丙烯磁白PP板材(厚度≧10mm)     Or    China  SUS板材(厚度≧2mm) 主機整體骨架表面噴涂處理  Or    China  SUS矩形材(厚度≧2mm) ，機臺視窗采用透明、抗靜電之聚氯乙烯PVC(厚度≧5mm)   Or China  鋼化玻璃(厚度≧5mm) 配有蝕刻液恒溫系統(tǒng)； 蝕刻液循環(huán)過濾系統(tǒng)； 超（兆）聲系統(tǒng)； 集成自動烘干系統(tǒng)； 消防系統(tǒng)；  可結(jié)合客戶端通訊協(xié)定資料儲存、CIM系統(tǒng)、資料分析儲存建立管理； 全程自動控制，工藝生產(chǎn)過程中不用人工干預(yù)，保證產(chǎn)品性能的一致性；多級別用戶工藝數(shù)據(jù)庫，可供用戶使用和存儲； 管路系統(tǒng)、電氣控制系統(tǒng)、伺服電機及絲杠導(dǎo)軌等關(guān)鍵核心部件均采用進(jìn)口標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品，配置模組化，維護(hù)保修便利，非期貨庫存品工廠內(nèi)均建立安全存量； 全程自動化控制，幾何曲線加減速運動，沖擊小、運動平穩(wěn)，機械臂定位精度高； 作業(yè)區(qū)內(nèi)有害氣體多種安全主動及被動保護(hù)相結(jié)合，保證操作人員作業(yè)環(huán)境及人身安全； 客制化設(shè)計能力佳，高設(shè)計能力滿足客戶制程工藝需要；機械臂裝置 Robot的工藝路徑種類 N種（設(shè)備出廠前載入PLC內(nèi)）； 機械手傳送定位精度≤0.3mm機械手傳動預(yù)估速度垂直升降速度不小于4000mm/min，水平移動速度不小于6000mm/min；機械臂走向‘右進(jìn)左出’或‘左進(jìn)右出’；制程控制PLC控制方式；操作界面 全圖形化中文彩色人機界面（10.4彩屏）；槽體數(shù)量根據(jù)制程工藝要求選擇定制；設(shè)備制造北京華林嘉業(yè)科技有限公司（CGB）；