自動供液系統（CDS)
主要用途：本設備主要用于濕法蝕刻清洗等制程工序需要使用的蝕刻液集中,進行配送，經管道送至設備；具有自動化程度高、配比精確、操,作簡便等特點，而且具有良好的耐腐蝕性能；適用化學品：氫氟酸(HF),硝酸(HNO3),雙氧水(H2O2),氫氧化鉀(KOH),氨水(NH4OH),氫氧化鈉(NaOH),鹽酸(HCL),硫酸(H2SO4),異丙醇(IPA)等；選配模塊：※ 一用一備雙桶式或單桶式；※ 具備循環、過濾功能，可根據客戶的工藝選配多組過濾、循環系統；※ 當其中一支桶內的液體用完時，能夠自動進行不間斷雙桶切換；※ 具備化學液的取樣檢測功能；※ 可結合客戶端通訊協定資料儲存、CIM系統、資料分析儲存建立管理；機臺特點：※ 化學品集中及持續不間斷供應，多點分配；有防氣泡裝置，防止因氣泡影響配液精度；※ 可同時放置兩個20L/50L/200L等標準化學品儲液桶；化學品最大輸送流量：≤60L/min；※ 定時補充藥液或定量補充藥液，參數均可在觸摸屏上設定；※ 作業區內酸堿氣體多種安全主動及被動保護相結合，保證操作人員作業環境及人身安全；※ 客制化設計能力佳，高設計能力滿足客戶制程工藝需要；設備制造：北京華林嘉業科技有限公司（CGB）.
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