邁浦特機械高低溫一體機采用三級復疊制冷+高溫油導熱系統實現芯片級**控溫：
?深冷生成?：三級壓縮機組（R14/R23/R404A）逐級制冷，-100℃低溫通過同軸套管蒸發器高效換熱，冷量傳遞至硅油介質，溫差≤±1℃。?高溫控制?：316L不銹鋼加熱管嵌入循環管路，PID分三區調節功率（0～48kW），300℃高溫下硅油流速＞2m/s，避免局部結焦。?動態響應?：芯片測試中，板式換熱器與循環泵直連，-65℃→125℃切換＜5分鐘。壓力傳感器實時調節變頻泵轉速，匹配晶圓表面微區溫差需求。?安全冗余?：雙PT100傳感器交叉校驗，溫差＞2℃自動報警；膨脹容器恒溫60℃，氮氣密封防止硅油氧化
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