FH413A05三軸電容加速度傳感器MEMS低頻
FH413A05三軸加速度傳感器說明書
一、簡介
FH413A05 三軸加速度傳感器由我公司自行研制，用于測量加速度的傳感器。它采用低功耗、高精度、低噪聲MEMS芯片，具有 BIMOS 信號限制電路。設計考慮多用戶的需求，制造采用表貼工藝技術。具有低功耗、高可靠性和高封裝堅固性，并具自檢測（Self-Test）等功能，可實現自檢測。
本產品可用于汽車測控、慣性導航、飛行器安全系統、地震監控、 傾斜、速度和位置的慣性、振動和沖擊試驗臺加速度的測量等系統中。
二、原理
FH413A05三軸加速度傳感器是建造在硅晶片頂部的表面 MEMS 多硅結構。多晶硅懸浮在晶片表面的結構，并提供一個克 服加速度感應力的阻力。用包含兩個獨立的固定板和一個與運動質塊 相連的板形成的差動電容器機構來測量比例于加速度的多硅結 構的偏轉，從而產生電壓輸出信號。
三、技術條件
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性能 |
FH413A性能 |
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Ax ，Ay ，Az |
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測量范圍（ g） |
±2 |
±4 |
±5 |
± 10 |
±20 |
±40 |
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靈敏度（mV/g） |
1000±50 |
500±50 |
400±30 |
200±20 |
100±10 |
50±5 |
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帶寬（10%，Hz） |
0～500 |
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零 g 偏置電壓（V） |
2.5±0.05 |
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滿量程輸出（V） |
0.5-4.5 |
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零偏溫度變化（mg/ °C） |
±0.2~ ±0.8 |
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交叉軸影響（%） |
≤2 |
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非線性度(％F.S) |
≤0.1 |
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噪聲密度（ug/ √Hz） |
20~80 |
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供電要求 |
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供電電壓(VDC) |
12±0.5 |
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輸入電流（mA） |
≤20 |
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工作環境 |
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使用溫度（。C） |
-45～+85 |
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抗沖擊（ g） |
5000 |
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重量、體積 |
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重量(g) |
≤20 |
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體積（mm³ ) |
21.6×21.6×12.4 |
四、接線端子定義
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引線號 |
1 |
2 |
3 |
4 |
5 |
6 |
|
顏色 |
紅 |
黑 |
藍 |
黃 |
白 |
屏蔽 |
|
定義 |
12v |
GND |
Ax |
Ay |
Az |
殼體地 |
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