FT1000SA三軸MEMS零頻電容加速度傳感器
一、傳感器特點：
FT1000SA三軸MEMS三軸電容加速度傳感器由本公司自行研制，用于測量單軸加速度的傳感器。它采用高精度MEMS芯片，具有BIMOS信號限制電路。設計考慮多用戶的需求，制造采用表貼工藝技術。具有高可靠性和高封裝堅固性。
本產品可用于汽車測控、慣性導航、飛行器安全系統、地震監控、傾斜、速度和位置的慣性、振動和沖擊試驗臺加速度的測量等系統中。
二、產品性能
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靈敏度（20±5℃） |
X Y Z:～40-20mv/g |
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測量范圍（峰值） |
50~100 g |
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最大橫向靈敏度 |
≤1 ％ |
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頻率響應（±5%） |
DC ～12000 Hz |
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安裝諧振頻率 |
25,000 Hz |
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頻譜噪聲 |
25 μg/√Hz |
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工作溫度范圍 |
-40～+120 ℃ |
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溫度響應 |
見溫度曲線 |
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極性 |
正向 |
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溫度靈敏度穩定性 |
5% |
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磁靈敏度 |
2 g/T |
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線性度為滿度范圍 |
±0.1% |
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安裝 |
M5螺釘/安裝座/磁座 |
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敏感材料 |
MEAS芯片 |
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殼體材料 |
鈦合金 |
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重量 |
13g |
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輸出方式 |
九芯插頭/5線制 |
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供電電壓 |
DC7-12V |
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配套件 |
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傳感器合格證 |
標定參數、頻響曲線 |
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M5螺栓/安裝座 |
一套 |
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9芯/（2 米） |
1根 |
FT1000SA系列MEMS電容三軸加速度傳感器是建造在硅晶片頂部的表面MEMS多硅結構。多晶硅懸浮在晶片表面的結構，并提供一個克服加速度感應力的阻力。用包含兩個獨立的固定板和一個與運動質塊相連的板形成的差動電容器機構來測量比例于加速度的多硅結構的偏轉，從而產生電壓輸出信號。
LEUZE勞易測50036282 DDLS 200/120.
LEUZE勞易測50036283 DDLS 200/120.2
BANNER/邦納Q20NDXLQ5 Q20NDXLQ7 Q20
IFM易福門SA4100 SA500 SI6200 PV700
IFM易福門PM1707 PM1108 PM1604 PN70
BANNER/邦納SLLP23-630 SLLP23-630P5
IFM易福門OGS301 OGE302 DI0101 PN20
BANNER/邦納LTF12KC2LDQ LTF24KC2LDQ
IFM易福門PM1605 PM1606 PM1607 PM17
IFM易福門PM1707 PM1708 PM1703 PM16
BANNER/邦納LTF12IC2LDQ QS18VN6CV15
IFM易福門EVC811 EVC001 EVC004 EVC0
LEUZE勞易測DDLS 200/120.2-10 DDLS
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