產(chǎn)品詳情:
主要用作半導(dǎo)體、功率器件、集成電路等行業(yè)中管式熱壁系統(tǒng)的加熱裝置。可與美國TEMPRESS、日本TEL等國外多種型號擴(kuò)散爐配套(替代進(jìn)口),選用進(jìn)口材料,制作而成。可用于2-8英寸硅片的擴(kuò)散工藝。
產(chǎn)品說明:
★加熱絲:APM A-1
★絕熱材料:PMF T2 T3…晶體纖維等
★絕緣子: 高純剛玉
★端口過渡環(huán):氧化鋁氧化鋯等真空成型。
★控溫段:3段、5段控溫
用途:
★半導(dǎo)體擴(kuò)散爐燒結(jié)爐等
★滿足4"-8"圓晶擴(kuò)散爐"
★完整的產(chǎn)品系列
★進(jìn)口替代
★材料及制造技術(shù),指標(biāo)優(yōu)異
★使用溫度:室溫-1400℃±0.5℃
★高溫型、普通型、快速升降溫型
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