產品詳情:
主要用作半導體、功率器件、集成電路等行業中管式熱壁系統的加熱裝置。可與美國、日本TEL等國外多種型號擴散爐配套（替代進口），選用進口材料，制作而成。可用于2-8英寸硅片的擴散工藝。
產品說明：
★加熱絲：KANTHAL‘APM A-1 AF D及HRE…
★絕熱材料：PMF T2 T3…晶體纖維等
★絕緣子： 高純剛玉
★端口過渡環：氧化鋁氧化鋯等真空成型。
★控溫段：3段、5段、9段控溫
用途：
★半導體擴散爐燒結爐等
★滿足4"-8"圓晶擴散爐"
★完整的產品系列
★進口替代
★材料及制造技術，指標優異
★使用溫度：室溫-1400℃±0.5℃
★高溫型、普通型、快速升降溫型
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