TESCAN???聚焦離子束掃描電鏡?聚焦離子束掃描電子顯微鏡
雙束聚焦掃描電鏡FIB-SEM
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FIB-SEM
雙束電鏡(FIB-SEM)是一款集成了電子束和離子束的電子顯微鏡系統(tǒng)。SEM?鏡筒提供高分辨成像能力,F(xiàn)IB?鏡筒能在成像的同時對樣品進行加工處理。雙束電鏡系統(tǒng)開創(chuàng)了一種全新的應(yīng)用方式。
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雙束電鏡系統(tǒng)的配置使得電子束和離子束的聚焦點重合,這在很多應(yīng)用中可以獲得最優(yōu)化的結(jié)果。這一特點也使得儀器在完成?FIB?銑削任務(wù)的同時,可以進行?SEM?實時成像----這對于精度要求極高的?FIB?操作有很大幫助,使得操作性能和工作效率實現(xiàn)重大飛躍。
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主要型號:
TESCAN?AMBER
TESCAN?SOLARIS
TESCAN?AMBER?X
TESCAN?SOLARIS?X
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我們提供多種配置的?FIB-SEM?系統(tǒng),能夠滿足從常規(guī)工業(yè)應(yīng)用到**和具有挑戰(zhàn)性的工藝應(yīng)用,這些應(yīng)用要求在成像和微/納米機械的復(fù)雜工作流程方面達到很高的標準。
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