Hafnium Oxide (HfO2)二氧化鉿靶材,是一種高端且精密的磁控濺射靶材
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一、?HfO2,即二氧化鉿,是一種由鉿元素和氧元素組成的化合物,因其獨特的物理化學性質(zhì),在多個高科技領域具有廣泛的應用價值。以下是對HfO2靶材材料的特性及其在行業(yè)中的應用優(yōu)勢的詳細闡述。
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OXIDES?氧化物 |
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Aluminum Oxide (Al2O3) |
Magnesium Oxide (MgO) |
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Antimony Oxide (Sb2O3) |
Zirconium-Magnesium Oxide(ZrMgO3) |
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Barium?Titanate?(BaTiO3) |
Magnesium-Zirconium Oxide (MgZrO3) |
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Bismuth Oxide (Bi2O3) |
Molybdenum Oxide (MoO3) |
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Bismuth?Titanate?(Bi2Ti4O11) |
Nickel-Chrome Oxide (CrNiO4) |
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Cerium Oxide (CeO2) |
Nickel-Cobalt Oxide(NiCoO2) |
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Cobalt-Chrome Oxide (CoCr2O4) |
Niobium?Pentoxide?(Nb2O5) |
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Chromium Oxide (Cr2O3) |
Rare Earth Garnets A3B2(SiO4)3 |
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Chromium Oxide (Eu?doped) |
Rare Earth Oxides (La2O3) |
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Gallium Oxide (Ga2O3) |
Silicon Dioxide (SiO2) |
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Germanium Oxide (GeO3) |
Silicon Monoxide (SiO) |
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Hafnium Oxide (HfO2) |
Tantalum?Pentoxide?(Ta2O5) |
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Indium Oxide (In2O3) |
Tin Oxide (SnO2) |
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Indium-Tin Oxide (ITO) |
Titanium Dioxide (TiO2) |
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Iron Oxide (Fe2O3) |
Tungsten Oxide (WO3) |
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Lanthanum Oxide(La2O3) |
Yttrium Oxide (Y2O3) |
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Lead?Titanate(PbTiO3) |
Yttrium-Aluminum Oxide (Y3Al5O12) |
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Lead?Zirconate?(ZrPbO3) |
Zinc Oxide (ZnO) |
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Lithium?Niobate?(LiNbO3) |
Zinc Oxide/Aluminum Oxide (Al2O3) |
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Lithium-Cobalt Oxide (CoLiO2) |
Zirconium Oxide (ZrO2) |
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Lutetium-Iron Oxide (garnet) (Fe2LuO4) |
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首先,從純度方面來看,HfO2靶材的純度通常高達99.99%,這為其在高端科技領域的應用提供了堅實的基礎。高純度的靶材能夠確保制備出的薄膜具有優(yōu)異的電學和光學性能,減少因雜質(zhì)和缺陷導致的性能下降。在半導體、光學和光伏行業(yè)中,薄膜的純度直接關(guān)系到產(chǎn)品的性能和可靠性,因此,高純度的HfO2靶材成為這些領域不可或缺的材料。
其次,密度是材料的一個重要物理性質(zhì)。HfO2靶材的密度約為9.68g/cm3,這使得它在制備薄膜時能夠提供更好的濺射效率和覆蓋均勻性。高密度的靶材在濺射過程中能夠釋放出更多的原子或分子,從而提高薄膜的生長速率和厚度均勻性。此外,密度還影響材料的硬度和耐磨性,使得HfO2靶材在制備耐磨、耐腐蝕薄膜方面具有顯著優(yōu)勢。
熔點方面,HfO2靶材的熔點高達2758℃(也有說法認為其某種晶體結(jié)構(gòu)的熔點為2050℃左右),這一特性使其在高溫環(huán)境下具有出色的穩(wěn)定性和耐久性。高熔點意味著HfO2靶材能夠在極端高溫條件下保持結(jié)構(gòu)穩(wěn)定,不易熔化或變形,這對于制造高溫部件、高溫傳感器等應用至關(guān)重要。此外,高熔點還使得HfO2靶材在制備高溫薄膜時具有獨特的優(yōu)勢,能夠在高溫下保持薄膜的完整性和性能。
三、行業(yè)應用優(yōu)勢
在行業(yè)中,HfO2靶材的應用優(yōu)勢主要體現(xiàn)在以下幾個方面:
1、半導體行業(yè):HfO2作為一種高介電常數(shù)氧化物,在半導體行業(yè)中被廣泛用作柵介質(zhì)材料。由于其高介電常數(shù)和良好的熱穩(wěn)定性,HfO2靶材能夠替代傳統(tǒng)的SiO2柵極絕緣層,解決MOSFET等傳統(tǒng)器件中SiO2/Si結(jié)構(gòu)的發(fā)展尺寸極限問題,提高器件的性能和可靠性。
2、光學行業(yè):HfO2靶材在光學領域的應用主要集中在制備高透光率、高折射率的薄膜上。這些薄膜被廣泛應用于LED、太陽能電池等光電器件中,能夠顯著提高器件的光吸收能力和光電轉(zhuǎn)換效率。此外,HfO2靶材還可用于制備干涉膜、增透膜等光學薄膜,提高光學器件的性能和穩(wěn)定性。
3、航空航天和化工領域:由于HfO2靶材具有優(yōu)異的耐高溫、耐腐蝕、高硬度等特點,使其在航空航天和化工領域具有廣泛的應用前景。在航空航天領域,HfO2靶材可用于制造高溫發(fā)動機部件、高溫渦輪葉片等高溫部件;在化工領域,HfO2靶材可用于制造高溫反應器、高溫催化劑等耐腐蝕設備。
綜上所述,HfO2靶材以其高純度、高密度和高熔點等獨特性質(zhì),在半導體、光學、航空航天和化工等多個領域展現(xiàn)出廣泛的應用優(yōu)勢。隨著科技的不斷發(fā)展,HfO2靶材的應用前景將會更加廣闊,為科技進步和產(chǎn)業(yè)發(fā)展提供有力支撐。
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Hf鉿靶材,是一種高端且精密的磁控濺射靶材
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一、Hf鉿靶材,作為一種高端且精密的磁控濺射靶材,在現(xiàn)代科研、高等教育實驗室以及工業(yè)鍍膜技術(shù)中占據(jù)著舉足輕重的地位。其獨特的材料特性——高純度、優(yōu)異的物理性能以及**的化學穩(wěn)定性,共同構(gòu)筑了Hf靶材在多個領域廣泛應用的基礎。我司專注研發(fā)與生產(chǎn),鑄就行業(yè)精品。公司生產(chǎn)單材質(zhì)靶材、電子束蒸發(fā)顆粒材料如下:
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SINGLE?ELEMENTS?單材質(zhì)靶材、電子束蒸發(fā)顆粒 |
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Aluminum (Al) |
Nickel (Ni) |
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Antimony (Sb) |
Niobium (Nb) |
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Arsenic (As) |
Osmium (Os) |
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Barium (Ba) |
Palladium (Pd) |
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Beryllium (Be) |
Platinum (Pt) |
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Boron (B) |
Rhenium (Re) |
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Cadmium (Cd) |
Rhodium (Rh) |
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Carbon (C) |
Rubidium (Rb) |
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Chromium (Cr) |
Ruthenium (Ru) |
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Cobalt (Co) |
Selenium (Se) |
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Copper (Cu) |
Silicon (Si) |
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Gallium (Ga) |
Silver (Ag) |
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Germanium (Ge) |
Tantalum (Ta) |
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Gold (Au) |
Tellurium (Te) |
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Hafnium (Hf) |
Tin (Sn) |
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Indium (In) |
Titanium (Ti) |
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Iridium (Ir) |
Tungsten (W) |
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Iron (Fe) |
Vanadium (V) |
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Lead (Pb) |
Yttrium (Y) |
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Magnesium (Mg) |
Zinc (Zn) |
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Manganese (Mn) |
Zirconium (Zr) |
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Molybdenum (Mo) |
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1、高純度:Hf鉿靶材的純度是其核心價值所在。市場上高品質(zhì)的Hf靶材往往能達到99.95%甚至更高的純度標準,這意味著在制備過程中幾乎去除了所有雜質(zhì)元素,從而確保了濺射過程中產(chǎn)生的Hf離子束的純凈度。高純度不僅提升了鍍膜或薄膜的均勻性和一致性,還減少了因雜質(zhì)引起的性能下降或缺陷,為科研和工業(yè)應用提供了可靠保障。
2、良好的物理性能:Hf鉿作為一種過渡金屬,具有適中的密度和較高的熔點(約2233°C)。適中的密度使得Hf靶材在濺射過程中能夠保持穩(wěn)定的濺射速率和濺射效率,而高熔點則確保了靶材在高溫環(huán)境下的穩(wěn)定性和耐久性。這些物理性能共同賦予了Hf靶材在極端條件下工作的能力,滿足了高精度、高穩(wěn)定性鍍膜工藝的需求。
3、化學穩(wěn)定性:Hf鉿靶材在多種化學環(huán)境中均表現(xiàn)出良好的穩(wěn)定性,不易與常見氣體或溶液發(fā)生反應。這種化學穩(wěn)定性使得Hf靶材在鍍膜過程中能夠保持其原有的物理和化學性質(zhì),避免了因化學反應導致的性能變化或污染問題。
1、科研與高校實驗室:在科研和高校實驗室中,Hf靶材因其高純度和優(yōu)異的性能成為制備高質(zhì)量薄膜、納米材料以及進行材料表面改性的理想選擇??蒲腥藛T可以利用Hf靶材進行各種基礎研究和應用開發(fā),探索新材料、新技術(shù)和新工藝,推動科技進步和產(chǎn)業(yè)升級。
2、工業(yè)鍍膜:在工業(yè)鍍膜領域,Hf靶材的應用范圍廣泛且深入。無論是半導體制造中的柵極材料、光學器件中的反射膜還是太陽能電池中的電極材料,Hf靶材都能憑借其高精度和高穩(wěn)定性為產(chǎn)品提供**的性能保障。特別是在需要高純度、高均勻性和高附著力的鍍膜工藝中,Hf靶材更是不可或缺的關(guān)鍵材料。
3、定制化服務:隨著市場需求的多樣化和個性化發(fā)展,Hf靶材供應商開始提供更加靈活和定制化的服務。不同規(guī)格、不同純度和不同加工方式的Hf靶材應運而生,以滿足不同客戶在不同應用場景下的特定需求。這種定制化服務不僅提升了Hf靶材的市場競爭力,還促進了其在更廣泛領域的應用和發(fā)展。
綜上所述,Hf鉿靶材以其高純度、良好的物理性能和化學穩(wěn)定性在科研、高校實驗室以及工業(yè)鍍膜等領域展現(xiàn)出了巨大的應用潛力和價值。隨著技術(shù)的不斷進步和市場需求的持續(xù)增長,Hf靶材必將在未來發(fā)展中發(fā)揮更加重要的作用,為科技進步和產(chǎn)業(yè)發(fā)展貢獻更多力量。
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