Aluminum Oxide(Al2O3),即氧化鋁靶材,作為一種高性能的高純濺射靶材材料,在薄膜制備領域展現出了其獨特的物理特性和廣泛的應用優勢。我司專注研發與生產,鑄就行業精品。所生產氧化物靶材 材料如下:
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OXIDES?氧化物 |
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Aluminum Oxide (Al2O3) |
Magnesium Oxide (MgO) |
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Antimony Oxide (Sb2O3) |
Zirconium-Magnesium Oxide(ZrMgO3) |
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Barium?Titanate?(BaTiO3) |
Magnesium-Zirconium Oxide (MgZrO3) |
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Bismuth Oxide (Bi2O3) |
Molybdenum Oxide (MoO3) |
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Bismuth?Titanate?(Bi2Ti4O11) |
Nickel-Chrome Oxide (CrNiO4) |
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Cerium Oxide (CeO2) |
Nickel-Cobalt Oxide(NiCoO2) |
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Cobalt-Chrome Oxide (CoCr2O4) |
Niobium?Pentoxide?(Nb2O5) |
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Chromium Oxide (Cr2O3) |
Rare Earth Garnets A3B2(SiO4)3 |
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Chromium Oxide (Eu?doped) |
Rare Earth Oxides (La2O3) |
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Gallium Oxide (Ga2O3) |
Silicon Dioxide (SiO2) |
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Germanium Oxide (GeO3) |
Silicon Monoxide (SiO) |
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Hafnium Oxide (HfO2) |
Tantalum?Pentoxide?(Ta2O5) |
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Indium Oxide (In2O3) |
Tin Oxide (SnO2) |
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Indium-Tin Oxide (ITO) |
Titanium Dioxide (TiO2) |
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Iron Oxide (Fe2O3) |
Tungsten Oxide (WO3) |
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Lanthanum Oxide(La2O3) |
Yttrium Oxide (Y2O3) |
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Lead?Titanate(PbTiO3) |
Yttrium-Aluminum Oxide (Y3Al5O12) |
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Lead?Zirconate?(ZrPbO3) |
Zinc Oxide (ZnO) |
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Lithium?Niobate?(LiNbO3) |
Zinc Oxide/Aluminum Oxide (Al2O3) |
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Lithium-Cobalt Oxide (CoLiO2) |
Zirconium Oxide (ZrO2) |
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一、氧化物(Al2O3)靶材特性:
1、首先,從純度方面來看,氧化鋁靶材的純度通常達到99.99%以上,甚至可達99.999%的極高純度。這種高純度確保了靶材在濺射過程中能夠提供穩定且純凈的濺射源,從而制備出質量**的薄膜。高純度還減少了雜質對薄膜性能的影響,如電學性能、光學性能及化學穩定性等,使得氧化鋁薄膜在多個領域中的應用更加可靠和高效。
2、在密度方面,氧化鋁靶材的密度約為3.97~4.0g/cm3(真密度),這為其在濺射過程中提供了良好的穩定性。高密度使得靶材在濺射時能夠保持均勻的濺射速率和薄膜厚度,從而提高了薄膜的均勻性和一致性。此外,高密度還賦予了氧化鋁薄膜優異的機械性能和耐磨性,使其在需要高硬度、高耐磨性的應用中表現出色。
3、熔點方面,氧化鋁的熔點高達2054°C,這一特性使得氧化鋁靶材能夠在高溫環境下保持穩定,不易熔化或變形。這種高溫穩定性對于需要高溫濺射或沉積工藝的應用場景至關重要,如化學氣相沉積(CVD)等高溫工藝中。同時,高熔點也確保了氧化鋁薄膜在高溫環境下的穩定性和耐久性,使得其在航空航天、能源存儲等極端環境中的應用更加可靠。
三、行業應用:
氧化鋁靶材展現出了廣泛的應用優勢。在半導體領域,氧化鋁薄膜作為介電層、鈍化層或絕緣層,能夠顯著提高器件的性能和可靠性。其優異的絕緣性能和穩定的化學性質,使得氧化鋁薄膜成為制造高性能電容器、晶體管等微電子器件的理想材料。此外,在光學領域,氧化鋁薄膜被廣泛應用于抗反射涂層、高反射涂層和透明導電膜等光學元件的制備中,提高了產品的光學性能和美觀度。在裝飾保護領域,氧化鋁薄膜因其良好的耐磨性和化學穩定性,被用作家具、建筑材料等表面的裝飾和保護涂層,延長了產品的使用壽命。
綜上所述,Aluminum Oxide(Al?O?)氧化鋁靶材以其高純度、高密度和高熔點等優異特性,在半導體、光學、裝飾保護等多個領域中展現出了廣泛的應用優勢和巨大的市場潛力。隨著技術的不斷進步和應用領域的不斷拓展,氧化鋁靶材必將在更多領域中發揮重要作用。
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鋁是世界上最常見的金屬之一。它可以在廚房用具,汽車,路燈和流行的鋁箔食品包裝中找到。鋁是銀白色的金屬材料。在正常情況下,它是輕質的,可延展的,可延展的且無磁性的。它的密度為2.7 g / cc,熔點為660°C,蒸氣壓為10?-4在1,010°C時托。盡管它不是一種堅固的材料,但它還是熱和電的良導體,并且能夠形成耐腐蝕的氧化層。由于其高反應性,它在自然界中很少作為游離元素被發現。在真空中蒸發時,鋁層會在望遠鏡,汽車前照燈,鏡子,包裝和玩具上形成反射涂層。它廣泛用于航空航天,汽車照明,OLED和光學行業。
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材料類型 |
鋁 |
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符號 |
Al |
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原子重量 |
26.9815386 |
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原子數 |
13 |
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顏色/外觀 |
銀色,金屬 |
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導熱系數 |
235瓦/米 |
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熔點(℃) |
660 |
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熱膨脹系數 |
23.1 x 10-6 /千 |
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理論密度(g / cc) |
2.7 |
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Z比 |
1.08 |
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濺鍍 |
直流 |
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最大功率密度(瓦/平方英寸) |
150?* |
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綁定類型 |
銦,彈性體 |
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注釋 |
鎢/鉬/鉭合金?蒸發或使用BN坩堝。 |
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鋁合金按化學成分可分為鋁硅合金AlSi,鋁銅合金AlCu,鋁鎂合金AlMg,鋁鋅合金AlZn和鋁稀土合金,其中鋁硅合金又有簡單鋁硅合金(不能熱處理強化,力學性能較低,鑄造性能好),特殊鋁硅合金(可熱處理強化,力學性能較高,鑄造性能良好)。
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其他濺射靶材及蒸發顆粒有鋁銅合金,硅鋁合金,鋁硅銅合金,鈦鋁合金等。
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