INFICON Augent™光學等離子體計OPG550是真空監測的智能解決方案。
Augent™OPG550將兩種傳感器技術結合到一個緊湊的設備中,用于氣體類型監測
1 × 10-7至5毫巴,同時測量從大氣到1 × 10-7毫巴的總壓力。Augent™
OPG550由集成的Pirani傳感器保護,可關閉20毫巴以上的等離子體。
在1 × 10-7和5毫巴之間的測量范圍內,壓力表允許檢測氣體成分。
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