設備簡介：
本系統主要包含多溫區高溫加熱系統、進出氣控制系統、電動開蓋系統、自動進液系統、PLC自動化控制系統及物料收集系統。
大尺寸碳化硅爐管及高達1380℃的最高工作溫度，可極大提高生產效率并適配更廣泛的應用領域。
1、六溫三控加熱系統，溫場分布更均勻；
2、高純硅碳棒加熱，最高工作溫度1380℃，可滿足更多CVD領域需求；
3、六路質量流量計(MFC)氣體控制，同時設置有真空系統配合進出氣系統使用，可以實現自動抽真空-補氣循環流程，以最快的速度排空腔體內部的氧氣；
4、電動開蓋系統，方便爐管的維護及更換；
5、4.3英寸彩色觸摸液晶屏，并支持多種工作模式的高精密注射泵，可以根據客戶需要選擇不同容積的針管進行試樣的注射；同時可以跟隨工藝曲線設置注射泵的開關，無需后期的人為操作，操作方便性大大提升；
6、PLC自動化控制系統集成了設備上所有的控制，包含加熱和各種動作都能夠在屏幕上進行操作，并且能夠跟隨工藝曲線設置不同的進氣和流量的設置，可以實現不同工藝下的快速組合，并且支持數據導出及預存和調用配方功能。
售后服務：1年質保，提供終身支持
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