石墨軟氈是將硬氈經(jīng)過石墨化制成,它具有質輕、擾性好,炭含量高、耐高溫、高溫無揮發(fā),耐腐蝕,導熱系數(shù)小的性能,并有高度的形狀保持性,是高溫真空電阻爐,特別適用于半導體的特種材料,制備爐的優(yōu)良保溫材料,也是抗腐蝕的過濾材料。
石墨硬氈主要應用在:真空爐隔熱;惰性氣體爐隔熱;多晶硅/單晶硅爐隔熱
石墨軟氈的主要特性:
1、導熱系數(shù)低
2、比熱低
3、熱穩(wěn)定性高
4、阻抗良好
5、加工簡單
6、表面性能好
7、純度高
8、結構非常均勻
9、不產(chǎn)生靜電
主要特點:低導熱系數(shù);高純度;高熱穩(wěn)定性;抗侵蝕;易切割加工


石墨氈應用在以下行業(yè):
1.宇航工業(yè):熱等靜壓爐,熱處理,燒結,釬焊,熱壓爐
2.半導體行業(yè):拉制硅單晶爐,鎵砷產(chǎn)品用爐
3.金屬熱處理:熱處理爐,燒結爐,釬焊爐
4.炭纖維生產(chǎn):感應加熱或者電阻加熱的炭化爐,石墨化爐
5.復合材料生產(chǎn):熱解炭和熱解石墨化學氣相沉積,或其他材質的復合材料
6.能源材料:釩或其他氧化還原電池用材


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