殘余氣體分析儀 Hicube RGA上海伯東銷售維修德國 Pfeiffer 殘余氣體分析儀 HiCube RGA. 四極桿質譜 PrismaPro 與 HiCube 渦輪分子泵組的搭配, 質量數范圍 1-300, 高分辨率和靈敏度. 適用于殘余氣體分析, 過程監測, 泄漏檢測.殘余氣體分析儀 Hicube RGA 優勢殘余氣體分析和氦氣泄漏檢測模式可用于從大氣壓至高真空環境高分辨率和靈敏度通過真空壓力監測保護燈絲進氣系統帶集成式切斷閥Pfeiffer 殘余氣體分析儀 Hicube RGA 技術規格
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渦輪分子泵組 |
HiCube™ Eco |
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功耗 |
170W |
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電壓（范圍） |
110 - 240 V; 50 / 60 Hz |
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氮氣抽速 |
67 l/s |
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前級泵在 50 Hz 時的泵送速度 |
1 m3/h |
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極限真空 |
<1X10-7 hPa |
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真空計 |
PKR 361 |
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測量范圍 |
1X10-9 至 1X103 hPa |
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閥門 |
EVN 116 |
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氣體流量 |
可調整, 自 5X10-6 至 3X103 hPa l/s |
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進氣口 |
DN 16 ISO-KF |
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PrismaPro |
QMG 250 F1 |
QMG 250 F2 |
QMG 250 F3 |
QMG 250 M1 |
QMG 250 M2 |
QMG 250 M3 |
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檢測器 |
法拉第 Faraday (F) |
電子倍增器/法拉第 C-SEM/Faraday (M) |
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質量數 amu |
1–100 |
1–200 |
1–300 |
1–100 |
1–200 |
1–300 |
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四極桿直徑／長度 |
6 /125 mm |
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最小檢測極限 F hPa *1,2 |
4X10-13 |
5X10-13 |
7X10-13 |
- |
- |
- |
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最小檢測極限 M hPa *1,2 |
- |
- |
- |
3X10-15 |
4X10-15 |
5X10-15 |
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對Ar的靈敏度 F A/hPa*3 |
5X10-4 |
4X10-4 |
3X10-4 |
5X10-4 |
4X10-4 |
3X10-4 |
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最大工作壓力 F hPa |
5X10-4 |
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最大工作壓力 M hPa |
- |
- |
- |
5X10-5 |
5X10-5 |
5X10-5 |
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對臨近質量數的影響*1 |
< 10 ppm |
< 20 ppm |
< 50 ppm |
< 10 ppm |
< 20 ppm |
< 50 ppm |
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操作溫度 分析 |
200 °C (max. 150 °C when operating with SEM) |
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操作溫度 電子 |
5 – 50 °C |
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烘烤溫度 分析 |
300 °C |
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連接法蘭 |
DN 40 CF-F |
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保壓時間 |
1 ms – 16 s/amu |
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峰比值可重復性 |
± 0.5 % |
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接口 |
以太網 |
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電源電壓 |
100–240 V AC，50/60 Hz |
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HiCube™ RGA重量 |
25.5 - 26.2 kg |
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殘余氣體分析儀 Hicube RGA 典型應用殘余氣體分析: 對真空系統中殘余氣體的分析, 可以獲知在達到所需的最終壓力或調節要求時, 殘余物質的組成. 由此可以得出各種有關系統表面性質, 脫附行為, 純度和密封性以及工藝氣體成分的結論. 這將為您提供有關真空室或真空組件狀態的重要信息.泄漏檢測: 上海伯東 Pfeiffer 殘余氣體分析儀 HiCube RGA 具有氦氣泄漏檢測模式, 可以通過軟件控制激活. 此功能可以方便您發現真空系統中的任何泄漏.過程監控: HiCube RGA 可以在最大 300u 的測量范圍內隨時間觀察任意數量的選定質量強度, 并可對選定的各質量分配警報循環閾值. 如果它們高于或低于所需極限, 則可以通過數字輸出將信號提供給更高級別的控制系統. 因此殘余氣體分析儀 HiCube RGA 能夠提供實時過程觀察和控制功能. EVN 116 氣體計量閥還可以使真空系統中的壓力適應相應過程需求, 此外, 集成式切斷閥還允許對泄漏設定點進行快速開/關控制.質量保證和過程優化: 諸如提供氣體成分定量測定, 確定過程氣體純度, 以及監測真空鍍膜過程相關氣體成分等能力, 殘余氣體分析儀 HiCube RGA 是過程記錄和質量保證中的重要工具. 即使測量正在執行, 所有測量值也會得到存儲, 并且可以在不停止測量的情況下追蹤. 即使仍在執行測量, 也可以導出測量結果以進行進一步分析.
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