應用示例 *PVD裝 *CVD裝置 *濺鍍裝置 *離子注入機 *真空爐、熱處理爐
磁性流體旋轉密封裝置在軸旋轉的情況下，可以對于真空進行密封，也可以對氣體進行隔離。磁性流體旋轉密封裝置是利用磁性流體的特性，由磁鐵將磁流體固定于旋轉軸周圍，形成液體的“O形密封圈”。
特性和優點 *一般真空用磁性流體
*低飽和蒸氣壓磁液
*耐高熱性強磁性流體
*耐腐蝕性氣體磁液
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