Pfeiffer 殘余氣體分析儀 PrismaPro上海伯東德國 Pfeiffer 殘余氣體分析儀(四級桿質譜儀)集高靈敏度, 高穩定性和智能操作于一體, 配置新一代的操作軟件 PV MassSpec, 可定量定性評估真空系統中的殘余氣體成分. *低可檢測分壓 3 X10-15 hPa.Pfeiffer 殘余氣體分析儀 PrismaPro 特性:模塊化設計保證兼容性, JSON 編程界面和多種接口易于系統集成分析儀器和電子單元可靈活互換雙燈絲延長工作時間*低可檢測分壓 3 X10-15 hPa可直接連接真空計, 方便測量壓力氣密離子源型號可選, 適合與進氣系統組合使用, 具有低氣體消耗和高信噪比的特點.
Pfeiffer 殘余氣體分析儀 PrismaPro 技術參數:
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型號 |
QMG 250 F1 |
QMG 250 F2 |
QMG 250 F3 |
QMG 250 M1 |
QMG 250 M2 |
QMG 250 M3 |
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檢測器 |
法拉第 Faraday (F) |
電子倍增器/法拉第 C-SEM / Faraday (M) |
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質量數 amu |
1–100 |
1–200 |
1–300 |
1–100 |
1–200 |
1–300 |
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四極桿直徑／長度 |
6 / 125 mm |
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*小檢測極限 F hPa *1,2 |
4X10-13 |
5X10-13 |
7X10-13 |
- |
- |
- |
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*小檢測極限 M hPa *1,2 |
- |
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- |
3X10-15 |
4X10-15 |
5X10-15 |
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對Ar的靈敏度 F A/hPa*3 |
5X10-4 |
4X10-4 |
3X10-4 |
5X10-4 |
4X10-4 |
3X10-4 |
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*大工作壓力 F hPa |
5X10-4 |
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*大工作壓力 M hPa |
- |
- |
- |
5X10-5 |
5X10-5 |
5X10-5 |
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對臨近質量數的影響*1 |
< 10 ppm |
< 20 ppm |
< 50 ppm |
< 10 ppm |
< 20 ppm |
< 50 ppm |
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操作溫度 分析 |
200 °C (max. 150 °C when operating with SEM) |
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操作溫度 電子 |
5 – 50 °C |
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烘烤溫度 分析 |
300 °C (移除電子模塊) |
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連接法蘭 |
DN 40 CF-F |
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保壓時間 |
1 ms – 16 s/amu |
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重量 |
2.5 kg |
3.2 kg |
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* 1 開放式離子源* 2 停留時間 4秒*3 與 C-SEM相比, 具有較高的靈敏度Pfeiffer 殘余氣體分析儀 PrismaPro 標準通訊接口:
Pfeiffer 殘余氣體分析儀 PrismaPro 可擴展的通訊接口:.jpg)
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