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一、產品簡介： 該設備ZYG1700-100是一款小型的雙溫區管式爐；真空系統搭配機械泵+分子泵真空度可達6.67*10-4pa，根據客戶的實際需求，安裝有4路進氣口，為了更**的控制進氣的精度在每一路進氣安裝有質量流量計，量程分別為；安裝有混氣系統與設備分開單獨控制，操作起來更為方便； 采用真空吸附成型的高純氧化鋁纖維爐膛保溫部分采用硅酸鋁澆鑄纖維真空澆注模塊，熱效率高，輕、薄、節能、施工簡捷；加熱元件采用U型硅鉬棒，有效保證了較好恒溫區和溫度均勻度；爐管采用耐高溫的高純剛玉管管子的尺寸為：φ100*1400mm、有效溫區為：φ90*400mm，加熱區為：φ90*700mm；；法蘭采用水冷密封結構使用310S的不銹鋼材料無縫滿焊而成；法蘭的水為上進下出，接口為φ8的卡套式接頭；可有效保證設備能夠長期高溫使用，有效避免了高溫狀態下密封圈形變漏氣等隱患；進氣口為設備的左側，在左側法蘭上；排氣閥、真空泵、尾氣燃燒裝置的位置在設備的右側法蘭上；采用PID溫控調節，使爐溫控制精度達到±1℃；搭配全自動控制系統，所有溫度系統、真空系統、氣路系統均集成于觸摸屏及PLC內；客戶只需一鍵啟動即可;此款設備可做CVD氣象沉積，硅碳包覆，退火，燒結等工藝；被高校、科研院所、工礦企業廣泛用于材料或化學實驗室在真空或保護氣氛狀態下燒結各種新材料樣品； |
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二、主要技術參數： |
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產品名稱 |
CVD管式爐 |
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產品型號 |
ZYG1700-100 |
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*高溫度 |
≤1600℃ |
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工作溫度 |
RT-1600℃ |
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管子尺寸 |
Φ100*5*1400mm（直徑*壁厚*長）；如果更小或更短的管子能滿足客戶的需求，建議使用：φ80/φ60*1400mm的剛玉管或者φ80/φ100*1200mm的剛玉管；這樣斷裂的風險會大大降低； |
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恒溫區尺寸 |
Φ90*400mm（直徑*長） |
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溫區個數 |
雙溫區（兩點控溫） |
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加熱元件 |
U型硅鉬棒 |
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爐管材質 |
高純剛玉管 |
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流量計 |
質量流量計（北京七星華創） |
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溫控儀表 |
日本山武 |
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PLC |
西門子 |
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觸摸屏 |
昆侖通態 |
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冷水機 |
1P冷水機 |
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真空系統 |
搭配機械泵（寧波鮑斯）+分子泵（世紀久泰），真空度可達6.67*10-4pa |
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可通氣氛 |
還原性氣體和惰性氣體 |
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保溫材質 |
高純氧化鋁多晶纖維部分選用硅酸鋁澆鑄纖維真空澆注模塊 |
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溫控系統 |
PID調節、自整定功能； |
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測溫方式 |
B型熱電偶（鉑銠） |
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控溫精度 |
±1.0℃ |
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升溫速率 |
≤20℃/min（推薦升溫≤10℃/min） |
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溫場均勻度 |
±5° |
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*大功率 |
20KW |
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工作電源 |
AC 380V Single- Phase，50/60 Hz |
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