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上海伯東代理美國原裝進(jìn)口 KRI 射頻離子源 RFICP 140

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上海伯東代理美國原裝進(jìn)口 KRI 射頻離子源 RFICP 140
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企業(yè)信息
伯東企業(yè)（上海）有限公司
實(shí)名認(rèn)證 企業(yè)認(rèn)證
成立年份：
1995年
經(jīng)營模式：
貿(mào)易商
企業(yè)類型：
企業(yè)單位
主營產(chǎn)品：
氦質(zhì)譜檢漏儀銷售維修,渦輪分子泵銷售維修,真空計(jì)銷售維修,高低溫測試機(jī),真空閥門,水汽深冷泵,冷凍機(jī),質(zhì)譜分析儀,考夫曼離子源,旋片泵,羅茨泵,干泵
公司地址：
上海浦東新區(qū)新金橋路1888號36號樓7樓702室
聯(lián)系方式
電話：
021-50463511
傳真：
021-50461490
手機(jī)：
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2821409400
郵箱：
ec@hakuto-vacuum.cn
地址：
上海浦東新區(qū)新金橋路1888號36號樓7樓702室
產(chǎn)品介紹
加工定制
：
否
型號
：
RFICP 140
有效期至
：
長期有效
最后更新
：
2023-08-22 11:25
瀏覽次數(shù)
：
171

射頻離子源 RFICP 140

KRI 射頻離子源 RFICP 140上海伯東代理美國原裝進(jìn)口 KRI 射頻離子源 RFICP 140 是一款緊湊的有柵極離子源, 非常適用于離子束濺射沉積, 離子輔助沉積和離子束刻蝕. 在離子束濺射工藝中，射頻離子源 RFICP 140 配有離子光學(xué)元件, 可以很好的控制離子束去濺射靶材, 實(shí)現(xiàn)更佳的薄膜特性. 同樣的在離子束輔助沉積和離子束刻蝕工藝中, 離子光學(xué)元件能夠完成發(fā)散和聚集離子束的任務(wù). 就標(biāo)準(zhǔn)的型號而言, 可以在離子能量為 100~1200 eV 范圍內(nèi)獲得很高的離子密度. 可以輸出 600 mA 離子流.射頻離子源 RFICP140

KRI 射頻離子源 RFICP 140 技術(shù)參數(shù):

陽極

電感耦合等離子體
1kW & 1.8 MHz
射頻自動(dòng)匹配

陽極功率

1kW

離子束流

> 500mA

電壓范圍

100-1200V

離子束動(dòng)能

100-1200eV

氣體

Ar, O2, N2,其他

流量

5-40sccm

壓力

< 0.5mTorr

離子光學(xué), 自對準(zhǔn)

OptiBeamTM

離子束柵極

14cm Φ

柵極材質(zhì)

鉬, 石墨

離子束流形狀

平行,聚焦,散射

中和器

LFN 2000

高度

25.1 cm

直徑

24.6 cm

鎖緊安裝法蘭

12”CF

KRI 射頻離子源 RFICP 140 應(yīng)用領(lǐng)域：預(yù)清洗表面改性輔助鍍膜(光學(xué)鍍膜)IBAD,濺鍍和蒸發(fā)鍍膜 PC離子濺射沉積和多層結(jié)構(gòu) IBSD離子蝕刻 IBE1978 年 Dr. Kaufman 博士在美國創(chuàng)立 Kaufman & Robinson, Inc 公司, 研發(fā)生產(chǎn)考夫曼離子源, 霍爾離子源和射頻離子源. 美國考夫曼離子源歷經(jīng) 40 年改良及發(fā)展已取得多項(xiàng)利. 離子源廣泛用于離子清洗 PC, 離子蝕刻 IBE, 輔助鍍膜 IBAD, 離子濺射鍍膜 IBSD 領(lǐng)域, 上海伯東是美國考夫曼離子源總代理.

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上海伯東: 羅女士                            臺灣伯東: 王女士

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法定代表人
近藤聡（KONDO SATOSHI）
經(jīng)營狀態(tài)
存續(xù)（在營、開業(yè)、在冊）
注冊資本
1550 萬美元
實(shí)繳資本
統(tǒng)一社會信用代碼
913101156073328291
組織機(jī)構(gòu)代碼
607332829
企業(yè)注冊號
310115400032917
企業(yè)類型
有限責(zé)任公司（外國法人獨(dú)資）
登記機(jī)關(guān)
自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)市場監(jiān)督管理局
成立日期
1995年12月01日
營業(yè)期限
1995年12月01日---
核準(zhǔn)日期
2024年05日22日
注冊地址
中國（上海）自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)基隆路89號10層1018-1020室
經(jīng)營范圍
許可項(xiàng)目：危險(xiǎn)化學(xué)品經(jīng)營。（依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目，經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動(dòng)，具體經(jīng)營項(xiàng)目以相關(guān)部門批準(zhǔn)文件或許可證件為準(zhǔn)）一般項(xiàng)目：電子接插件、線束和印刷電路板、傳真機(jī)、復(fù)印機(jī)、照相機(jī)、掃描儀用石英玻璃、化學(xué)品（除危險(xiǎn)化學(xué)品、監(jiān)控化學(xué)品、民用爆炸物品、易制毒化學(xué)品）、化妝品、塑料、橡膠及其制品、木漿及其他纖維狀纖維素漿、紙及紙制品、陶瓷制品、紡織原料、玻璃及其制品、金屬材料及其制品、精密儀器、機(jī)械設(shè)備、音像設(shè)備及其零配件、光學(xué)攝影設(shè)備及其零配件、照明器具、計(jì)算機(jī)、軟件及輔助設(shè)備、電子元器件、電子產(chǎn)品及其零配件、集成電路芯片及其產(chǎn)品、半導(dǎo)體分立器件、半導(dǎo)體器件專用設(shè)備及其零配件的批發(fā)、進(jìn)出口、傭金代理（拍賣除外）及其相關(guān)配套服務(wù)；精密儀器、設(shè)備的維修；區(qū)內(nèi)倉儲業(yè)務(wù)（除危險(xiǎn)品）；國際貿(mào)易、轉(zhuǎn)口貿(mào)易、區(qū)內(nèi)企業(yè)間的貿(mào)易及區(qū)內(nèi)貿(mào)易代理；區(qū)內(nèi)商業(yè)性簡單加工；區(qū)內(nèi)貿(mào)易咨詢服務(wù)；從事電子科技、信息科技領(lǐng)域內(nèi)的技術(shù)服務(wù)、技術(shù)咨詢、技術(shù)開發(fā)、技術(shù)轉(zhuǎn)讓。（除依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目外，憑營業(yè)執(zhí)照依法自主開展經(jīng)營活動(dòng)）