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上海伯東美國(guó) KRi 大口徑射頻離子源 RFICP 380

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上海伯東美國(guó) KRi 大口徑射頻離子源 RFICP 380
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企業(yè)信息
伯東企業(yè)（上海）有限公司
實(shí)名認(rèn)證 企業(yè)認(rèn)證
成立年份：
1995年
經(jīng)營(yíng)模式：
貿(mào)易商
企業(yè)類(lèi)型：
企業(yè)單位
主營(yíng)產(chǎn)品：
氦質(zhì)譜檢漏儀銷(xiāo)售維修,渦輪分子泵銷(xiāo)售維修,真空計(jì)銷(xiāo)售維修,高低溫測(cè)試機(jī),真空閥門(mén),水汽深冷泵,冷凍機(jī),質(zhì)譜分析儀,考夫曼離子源,旋片泵,羅茨泵,干泵
公司地址：
上海浦東新區(qū)新金橋路1888號(hào)36號(hào)樓7樓702室
聯(lián)系方式
電話：
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傳真：
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手機(jī)：
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地址：
上海浦東新區(qū)新金橋路1888號(hào)36號(hào)樓7樓702室
產(chǎn)品介紹
加工定制
：
否
型號(hào)
：
RFICP 380
提供加工定制
：
是|否
有效期至
：
長(zhǎng)期有效
最后更新
：
2023-07-25 13:58
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165

射頻離子源 RFICP 380

大口徑射頻離子源 RFICP 380上海伯東美國(guó) KRi 大口徑射頻離子源 RFICP 380, 3層?xùn)艠O設(shè)計(jì), 柵極口徑 38cm, 提供離子動(dòng)能 100-1200eV 寬束離子束, **離子束流 > 1000mA, 滿足 300 mm (12英寸)晶圓應(yīng)用. 廣泛應(yīng)用于離子束刻蝕機(jī).KRi 射頻離子源 RFICP 380 特性1. 放電腔 Discharge Chamber, 無(wú)需電離燈絲, 通過(guò)射頻技術(shù)提供高密度離子, 工藝時(shí)間更長(zhǎng). 2kW & 1.8 MHz, 射頻自動(dòng)匹配2. 離子源結(jié)構(gòu)模塊化設(shè)計(jì)3. 離子光學(xué), 自對(duì)準(zhǔn)技術(shù), 準(zhǔn)直光束設(shè)計(jì), 自動(dòng)調(diào)節(jié)技術(shù)保障柵極的使用壽命和可重復(fù)的工藝運(yùn)行4. 全自動(dòng)控制器5. 離子束動(dòng)能 100-1200eV6. 柵極口徑 38cm, 滿足 300 mm (12英寸)晶圓應(yīng)用射頻離子源 RFICP 380射頻離子源 RFICP 380 技術(shù)規(guī)格:

陽(yáng)極

電感耦合等離子體
2kW & 1.8 MHz
射頻自動(dòng)匹配

**陽(yáng)極功率

>1kW

**離子束流

> 1000mA

電壓范圍

100-1500V

離子束動(dòng)能

100-1200eV

氣體

Ar, O2, N2,其他

流量

5-50sccm

壓力

< 0.5mTorr

離子光學(xué), 自對(duì)準(zhǔn)

OptiBeamTM

離子束柵極

38cm Φ

柵極材質(zhì)

鉬

離子束流形狀

平行,聚焦,散射

中和器

LFN 2000

高度

38.1 cm

直徑

58.2 cm

鎖緊安裝法蘭

12”CF

射頻離子源 RFICP 380 基本尺寸:射頻離子源 RFICP 380上海伯東美國(guó)考夫曼 KRI 大口徑射頻離子源 RFICP 220, RFICP 380 成功應(yīng)用于 12英寸和 8英寸磁存儲(chǔ)器刻蝕機(jī), 8英寸量產(chǎn)型金屬刻蝕機(jī)中, 實(shí)現(xiàn) 8英寸 IC 制造中的 Al, W 刻蝕工藝, 適用于 IC, 微電子,光電子, MEMS 等領(lǐng)域.作為蝕刻機(jī)的核心部件, KRI  射頻離子源提供大尺寸, 高能量, 低濃度的離子束, 接受客戶定制, 單次工藝時(shí)間更長(zhǎng), 滿足各種材料刻蝕需求!射頻離子源 RFICP 380

 

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工商信息*以下內(nèi)容來(lái)自第三方啟信寶提供
法定代表人
近藤聡（KONDO SATOSHI）
經(jīng)營(yíng)狀態(tài)
存續(xù)（在營(yíng)、開(kāi)業(yè)、在冊(cè)）
注冊(cè)資本
1550 萬(wàn)美元
實(shí)繳資本
統(tǒng)一社會(huì)信用代碼
913101156073328291
組織機(jī)構(gòu)代碼
607332829
企業(yè)注冊(cè)號(hào)
310115400032917
企業(yè)類(lèi)型
有限責(zé)任公司（外國(guó)法人獨(dú)資）
登記機(jī)關(guān)
自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)市場(chǎng)監(jiān)督管理局
成立日期
1995年12月01日
營(yíng)業(yè)期限
1995年12月01日---
核準(zhǔn)日期
2024年05日22日
注冊(cè)地址
中國(guó)（上海）自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)基隆路89號(hào)10層1018-1020室
經(jīng)營(yíng)范圍
許可項(xiàng)目：危險(xiǎn)化學(xué)品經(jīng)營(yíng)。（依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目，經(jīng)相關(guān)部門(mén)批準(zhǔn)后方可開(kāi)展經(jīng)營(yíng)活動(dòng)，具體經(jīng)營(yíng)項(xiàng)目以相關(guān)部門(mén)批準(zhǔn)文件或許可證件為準(zhǔn)）一般項(xiàng)目：電子接插件、線束和印刷電路板、傳真機(jī)、復(fù)印機(jī)、照相機(jī)、掃描儀用石英玻璃、化學(xué)品（除危險(xiǎn)化學(xué)品、監(jiān)控化學(xué)品、民用爆炸物品、易制毒化學(xué)品）、化妝品、塑料、橡膠及其制品、木漿及其他纖維狀纖維素漿、紙及紙制品、陶瓷制品、紡織原料、玻璃及其制品、金屬材料及其制品、精密儀器、機(jī)械設(shè)備、音像設(shè)備及其零配件、光學(xué)攝影設(shè)備及其零配件、照明器具、計(jì)算機(jī)、軟件及輔助設(shè)備、電子元器件、電子產(chǎn)品及其零配件、集成電路芯片及其產(chǎn)品、半導(dǎo)體分立器件、半導(dǎo)體器件專用設(shè)備及其零配件的批發(fā)、進(jìn)出口、傭金代理（拍賣(mài)除外）及其相關(guān)配套服務(wù)；精密儀器、設(shè)備的維修；區(qū)內(nèi)倉(cāng)儲(chǔ)業(yè)務(wù)（除危險(xiǎn)品）；國(guó)際貿(mào)易、轉(zhuǎn)口貿(mào)易、區(qū)內(nèi)企業(yè)間的貿(mào)易及區(qū)內(nèi)貿(mào)易代理；區(qū)內(nèi)商業(yè)性簡(jiǎn)單加工；區(qū)內(nèi)貿(mào)易咨詢服務(wù)；從事電子科技、信息科技領(lǐng)域內(nèi)的技術(shù)服務(wù)、技術(shù)咨詢、技術(shù)開(kāi)發(fā)、技術(shù)轉(zhuǎn)讓。（除依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目外，憑營(yíng)業(yè)執(zhí)照依法自主開(kāi)展經(jīng)營(yíng)活動(dòng)）