一、勻膠機工作原理:
勻膠機(英文名:Spin Coater & Spin Processor) 行業俗稱:勻膠臺、甩膠機、旋涂機、涂膠機、鍍膜機、涂層機等,其工作原理是高速旋轉基片,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的涂在基片上,勻膠旋涂機常用于各種溶膠凝膠(Sol-Gel)實驗中的薄膜制作,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數而不同,也和旋轉速度及時間有關。
二、德國POLOS勻膠旋涂儀 SPIN200i產品概述:
SPIN200i采用了無刷式馬達,可實現基底片順時針、逆時針方向旋轉,擁有著比一般地有刷電機單向旋轉所沒有的優勢,同時也具有著更好的耐腐蝕性,適應于鈣鈦礦太陽能電池制備、半導體芯片制造、MEMS制版的表面涂覆。且具有穩定的轉速和快速的啟動,可以保證旋涂過程中膠厚度的一致性和均勻性。
三、德國POLOS勻膠旋涂儀 SPIN200i主要性能指標:
1、適用基板尺寸:10-260mm直徑圓片,6英寸方片;
2、旋涂腔體直徑:302 毫米;
3、旋涂轉速范圍: 1~12000RPM**,±1rpm steps;
4、旋涂加速度:1~30000RPM/S;
5、旋涂精度: ±0.1rpm;
6、程序段數:無限制;
7、操作步數:無限制;
8、旋轉時間:無限制*,±0.1 Second steps;
9、旋轉方向:順時針,逆時針,順、逆時針交換擺動;
10、擴展接口:1個USB接口;
11、馬達保護:20-50kPa,2-5l/min,Tube OD Ø 6mm(可關閉);
12、馬達:無刷直流電機
13、腔體材質:天然聚丙烯,特殊應用可選用高耐化學性的PTFE(TFM™);
14、排廢連接:1" M-NPT;
15、觸屏控制:全彩觸摸屏控制界面;
16、配套真空泵系統:無 油 型 220~240伏交流,50/60赫茲;

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