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鵬城半導(dǎo)體技術(shù)(深圳)有限公司(簡稱:鵬城半導(dǎo)體)研發(fā)設(shè)計(jì)制造了熱絲CVD金剛石設(shè)備,分為實(shí)驗(yàn)型設(shè)備和生產(chǎn)型設(shè)備兩類。
設(shè)備主要用于微米晶和納米晶金剛石薄膜、導(dǎo)電金剛石薄膜、硬質(zhì)合金基金剛石涂層刀具、陶瓷軸承內(nèi)孔鍍金剛石薄膜等。
可用于生產(chǎn)制造環(huán)保領(lǐng)域污水處理用的耐腐*蝕*金剛石導(dǎo)電電極。
可用于平面工件的金剛石薄膜制備,也可用于刀具表面或其它不規(guī)則表面的金剛石硬質(zhì)涂層制備。

平面工作尺寸
圓形平面工作的尺寸:φ650mm。
矩形工作尺寸的寬度600mm/長度可根據(jù)鍍膜室的長度確定(如:工件長度1200mm)。
配置冷水樣品臺(tái)。

熱絲電源功率
可達(dá)300KW,1KW ~300KW可調(diào)(可根據(jù)用戶工藝需求配置功率范圍)
設(shè)備安全性
-電力系統(tǒng)的檢測(cè)與保護(hù)
-設(shè)置真空檢測(cè)與報(bào)警保護(hù)功能
-冷卻循環(huán)水系統(tǒng)壓力檢測(cè)和流量檢測(cè)與報(bào)警保護(hù)
-設(shè)置水壓檢測(cè)與報(bào)警保護(hù)裝置
-設(shè)置水流檢測(cè)報(bào)警裝置
設(shè)備構(gòu)成
真空室構(gòu)成
雙層水冷結(jié)構(gòu),立式圓形、立式D形、立式矩形、臥式矩形,前后開門,真空尺寸,根據(jù)工件尺寸和數(shù)量確定。
熱絲
熱絲材料:鉭絲、或鎢絲
熱絲溫度:1800℃~ 2500℃ 可調(diào)
樣品臺(tái)
可水冷、可加偏壓、可旋轉(zhuǎn)、可升降 ,由調(diào)速電機(jī)控制,可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)升降,(熱絲與襯底間距在5 ~ 100mm范圍內(nèi)可調(diào)),要求升降平穩(wěn),上下波動(dòng)不大于0.1mm。
工作氣路(CVD)
工作氣路根據(jù)用戶工藝要求配置:
下面氣體配置是某一用戶的配置案例。
H2(5000sccm,濃度*100*%)
CH4(200sccm,濃度*100*%)
B2H6(50sccm,H2濃度99*%)
Ar(1000sccm,濃度****)

真空獲得及測(cè)量系統(tǒng)
控制系統(tǒng)及軟件
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