1）采用工控機+PLC+條碼槍的控制，方便信息的讀取、記錄，可與工廠MES系統相連接
2）適用于多種規格硅片的腐蝕清洗，同一臺設備可編程多套運行軟件
3）根據工藝需求，槽體可匹配超（兆）聲、抖動、旋轉、循環過濾等功能
4）全自動控制，可選擇自動配補液，保證了操作的安全穩定性
5）高速移栽機械手，伺服驅動控制，保證運行平穩，定位可靠
6）設備配置FFU,UPS,保證設備穩定運行
7）采用國際知名品牌的電氣元件
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