光學(xué)輪廓測量儀采用的非接觸式測量方法具有測量精度高、分析功能強大、測量參數(shù)齊全以及使用方便等優(yōu)點，加上其獨特的光源模式，保證了它能夠適用于從光滑到粗糙等各種精密器件的表面質(zhì)量檢測。

中圖儀器的SuperViewW系列白光干涉儀能夠以優(yōu)于納米級的分辨率，以非接觸式測量樣品表面形貌，主要用于表面形貌紋理，微觀結(jié)構(gòu)分析，廣泛應(yīng)用于材料，光學(xué)，半導(dǎo)體，精密機械等等領(lǐng)域。

產(chǎn)品特點

1.雙通道氣浮隔振系統(tǒng)大幅減小了環(huán)境振動的影響，還可以降低高精度量測時的噪聲，提高超光滑表面的測試精度。

2.一體化操作的測量分析軟件自動對焦樣品表面，自動智能配置測試參數(shù)，使原來麻煩的“找條紋”，“選擇測試參數(shù)”過程，在一分鐘之內(nèi)，自動完成。

3.雙重防撞保護功能，除初級的軟件ZSTOP設(shè)置Z向位移下限位進行防撞保護外，另在Z軸上設(shè)計有機械電子傳感器，當(dāng)鏡頭觸碰到樣品表面時，儀器自動進入緊急停止?fàn)顟B(tài)，能保護樣品和設(shè)備的安全。

SuperViewW系列白光干涉儀分辨率0.1μm，重復(fù)性0.1%，可為樣品表面測量提供快速，便捷的非接觸式3D表面形貌測量解決方案。應(yīng)用領(lǐng)域廣泛，操作簡便，可自動聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數(shù)?？梢杂糜跍y試各類表面。比如透明的玻璃表面，加上增透膜，其反射率小于1%；也可以用于測試直至****反射率的各類高反表面。

技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)品型號：SuperView W1系列

產(chǎn)品名稱：光學(xué)3D表面輪廓儀

影像系統(tǒng)：1024×1024

光學(xué)ZOOM：0.5×，（0.75×，1×可選）

干涉物鏡：10×，（2.5×，5×，20×，50×，100×可選）

XY平臺：尺寸320×200mm，行程140×110mm，電動、手動同時具備，均為光柵閉環(huán)反饋

Z軸行程：100mm，電動

Z向掃描范圍：10mm

Z向分辨率：0.1nm

可測樣品反射率：0.05%-****

水平調(diào)整：±5°手動

粗糙度RMS重復(fù)性：0.005nm

臺階高測量：準(zhǔn)確度0.3%，重復(fù)性0.08% 1σ

主要特點：非接觸式無損檢測，一鍵分析、測量速度快、效率高

生產(chǎn)企業(yè)：深圳市中圖儀器股份有限公司

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SuperViewW系列白光干涉儀集合了相移法PSI的高精度和垂直法VSI的大范圍兩大優(yōu)點的擴展型相移算法EPSI，單一模式即可適用于從平面到弧面、超光滑到粗糙等各種表面類型，其獨特的3D重建算法，自動濾除樣品表面噪點，在硬件系統(tǒng)的配合測量精度可達亞納米級別，讓3D測量變得簡單。