高真空電子束蒸發鍍膜機（PVD鍍膜設備）是在高真空條件下，采用電子束轟擊材料加熱蒸發的方法，在襯底上鍍制各種金屬、氧化物、導電薄膜、光學薄膜、半導體薄膜、鐵電薄膜、超硬膜等；

可鍍制混合物單層膜、多層膜或摻雜膜；

可鍍各種高熔點材料。

可用于生產、科學實驗及教學，可根據用戶要求專門訂制。

可根據用戶使用要求，選配石英晶體膜厚儀自動控制及光學膜厚儀自動控制兩種方式, 通過PLC 和工控機聯合實現對整個鍍膜過程的全程自動控制, 包括真空系統、烘烤系統、蒸發過程和膜層厚度的監控功能等，從而提高了工作效率和保證產品質量的一致性和穩定性。

設備特點

設備具有真空度高、抽速快、基片裝卸方便的特點，配備 E 型電子束蒸發源和電阻蒸發源。PID自動控溫，具有成膜均勻、放氣量小和溫度均勻的優點。可根據用戶使用要求，選配石英晶體膜厚自動控制及光學膜厚自動控制兩種方式,通過PLC和工控機聯合實現對整個鍍膜過程的全程自動控制,包括真空系統、烘烤系統、蒸發過程和膜層厚度的監控功能等，從而提高了工作效率和保證產品質量的一致性和穩定性。

真空性能

極限真空：7×10^-5Pa～7×10^-6Pa

設備總體漏放率：關機12小時，≤10Pa恢復工作真空時間短，大氣至7×10^-4Pa≤30分鐘；

高真空電子束蒸發鍍膜機（電子束蒸發鍍膜機）

設備構成

E 型電子束蒸發槍、電阻熱蒸發源組件（可選配）、樣品掩膜擋板系統、真空獲得系統及真空測量系統、分子泵真空機組或低溫泵真空機組、旋轉基片加熱臺、工作氣路、樣品傳遞機構，膜厚控制系統、電控系統、恒溫冷卻水系統等組成。

可選件：膜厚監控儀，恒溫制冷水箱。

可選：鍍膜機+手套箱熱蒸發源種類及配置

電阻熱蒸發源種類- 鉭（鎢或鉬）金屬舟熱蒸發源組件- 石英舟熱蒸發源組件- 鎢極或鎢藍熱蒸發源組件- 鉭爐熱蒸發源組件（配氮化硼坩堝或陶瓷坩堝）- 束源爐熱蒸發組件（配石英坩堝或氮化硼坩堝）操作方式手動、半自動

科研型柜式一體集成高真空電子束蒸發鍍膜機

關于我們

鵬城半導體技術（深圳）有限公司，由哈爾濱工業大學（深圳）與有多年實踐經驗的工程師團隊共同發起創建。公司立足于技術前沿、市場前沿和產業前沿的交叉點，尋求創新yin*ling與可持續發展，解決產業的痛點和國產化難題，爭取產業鏈的自主可控。

鵬城微納技術（沈陽）有限公司是鵬城半導體技術（深圳）有限公司全資子公司，是半導體和泛半導體工藝和裝備的設計中心和生產制造基地。

公司核心業務是微納技術與高端精密制造，具體應用領域包括半導體和泛半導體材料、工藝、裝備的研發設計、生產制造、工藝技術服務及裝備的升級改造，可為用戶提供工藝研發和打樣，可為生產企業提供生產型設備，可為科學研究提供科研設備。

公司人才團隊知識結構完整，有工程師哈工大教授和博士，為核心的高水平材料研究和工藝研究團隊，還有來自工業界的高級裝備設計師團隊，他們具有30多年的半導體材料研究、外延技術研究和半導體薄膜制備成套裝備設計、生產制造的經驗。

公司依托于哈爾濱工業大學（深圳），具備xian*jin的半導體研發設備平臺和檢測設備平臺，可以在高起點開展科研工作。公司總部位于深圳市，具備半導體和泛半導體裝備的研發、生產、調試以及器件的中試、生產、銷售的能力。

公司團隊技術儲備及創新能力

2024~2026

-與軍工和核工業客戶合作取得突破（核反應堆材料的涂層工藝及裝備、X 光感受板及光電器件的薄膜生長）

-鵬城微納子公司擴產

-TGV/TSV/TMV

-微光探測、醫療影像、復合硬質涂層

-高新技術企業

2023

-PSD方法外延GaN裝備與工藝的技術攻關；

-科技型中小企業-入庫編號202344030500018573；

-創新型中小企業；

-獲50+項相關zhuan*li；

-企業信用評價AAA級信用企業；ISO三ti*xi*ren*zheng；

-子公司晶源半導體成立

2022

-子公司鵬城微納成立；

-熱絲CVD設備、高真空磁控濺射儀、電子束蒸鍍機、分子束外延與磁控濺射聯用設備多套出貨

-獲得ISOzhi*liang*guan*li*ti*xi證書

2021

-鵬城半導體技術（深圳）有限公司成立

2019

-設計制造了大型熱絲CVD金剛石薄膜的生產設備

2017

-優化Rheed設計，開始生產型MBE設計

-開始研發PSD方法外延GaN的工藝和裝備

2015

-設計制造了金剛石涂層制備設備，制備了金剛石電極、微米晶和納米晶金剛石薄膜、導電金剛石薄膜

2007

-設計超高溫CVD 和MBE，用于4H晶型SiC外延生長

-設計制造了光學級金剛石生長設備（采用熱激發技術和CVD技術）

2005

-設計制造了zhong*guo*di*yi*臺完全自主知識產權的MBE(分子束外延設備)，用于外延光電半導體材料

1998~2002

-設計了中試型的全自動化監控的MOCVD，用于外延硅基GaN

-設計制造了聚氨酯薄膜的卷繞式鍍膜機

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