有恒測控智能擴散硅壓力變送器的制造中一般利用集成電路平面工藝,用雜志擴散或離子注入的方法形成電阻器。擴散層被用來作為應力或應變敏感的電阻器,電流邊與擴散層被用來作為應力或應變敏感的電阻器,電流便與擴散層表面平行流過電阻器。在壓力傳感器的設計。制造時,需要了解不同溫度下硅擴散層的壓阻特性,選擇合適的擴散條件,選用一定型號、晶向的擴散電阻以獲得較高的靈敏度和曉得靈敏度系數,力求使壓力傳感器有良好的性能。擴散層的平均壓阻系數:擴散層中雜質往往呈誤差函數(恒定表面源條件下)或余誤差函數(恒定表面濃度條件)分布。也就是說,表面雜質濃度高,電流便呈現不均勻分布。雖然應力在電阻的縱剖面是均勻分布的,而壓阻系數取決于雜質濃度。以此在擴散層上電阻的改變的百分量是不同的。這又使擴散層中電流在縱向中心分布并造成壓阻值和應力之間的非線性。
擴散層硅的電阻溫度特性與壓力傳感器的熱零點漂移以及熱靈敏度有密切的關系。壓力傳感器中擴散層電阻的非線性也是一個值得注意的問題。她會引起傳感器壓阻電橋的輸出出現零點電漂移現象。所謂非線性是指擴散電阻的阻值與外加電壓有關,不能保持恒定不變。
有恒測控智能擴散硅壓力變送器技術指標物理指標:
測量介質:氣體、蒸汽、液體
精確度:±0.05%、±0.075%、±0.1%(包括從零點開始的線性、回差和重復性)
穩定性:±0.1%/3年
環境溫度影響:≤±0.04%URL/10℃
靜壓影響:±0.05%/10MPa
電源:10~36V DC(推薦24V DC)
電源影響 : ±0.001% /10V (10~36V DC),可忽略不計
調量程的參考精度:若 TD>10 (TD=較大量程 / 調節量程 ) 則為:±(0.075×TD)%
平方根輸出精度為以上線性參考精度的 1.5 倍
環境溫度:-40℃ ~85℃
測量介質溫度:-40℃~120℃
貯藏溫度:-40℃ ~105℃
顯示:LCD、OLED
顯示器顯示模塊溫度:-20℃~70℃(LCD)、-40℃~80℃(OLED)
物理參數:
測量膜盒:不銹鋼316L
膜片:不銹鋼316L、哈氏合金C
過程法蘭:不銹鋼304、316L
螺母及螺栓:碳鋼鍍鋅、不銹鋼
填充液:硅油、氟油、高溫硅油等
密封圈:丁腈橡膠、氟橡膠、聚四氟乙烯
變送器外殼:鋁合金材質,外表噴涂環氧樹脂
外殼密封圈:丁腈橡膠
銘牌:不銹鋼304
重量:2.8kg(無:安裝支架、過程連接)
外殼防護等級:IP67
防爆等級:ExdⅡCT6、ExiaⅡCT6

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