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愛德華EPX180高真空干泵的特性是：工作性能更佳，運行成本更低。EPX180使用了獨特的保護機械裝置，能夠從大氣壓抽空到小于7×10-5Torr的極限壓力。
模塊化EPX180基于備受贊譽、大獲成功的IPX系列，可提供的性能，與IPX相比，包裝重量輕了20%、體積小了30%且功率降低了40%。
EPX系列主要特性和優勢
1.占地面積小且重量輕一作為可用的小工具上泵之一，EPX顯著節省了占地面積。鋁制構造使其重量輕巧，增加了安裝選項。EPX可以直接安裝到工具上，從而節省了前級管道和安裝成本，如果需要也可遠程使用。
2.受保護的獨特泵機構-EPX可以從大氣壓抽空到UHV級基準壓力并可在所有入口壓力下連續運轉。
3.超清潔機構-傳統的高真空軸承使用油脂潤滑，這可能成為制程工具中污染源。EPX泵沒有高真空軸承油脂，并且不存在任何其他的潛在污染源
4.非常可靠-EPX具有大約13年的MTBFp(SEMIE10),通常每5年維修一次，大程度地延長了泵的使用壽命。
EPX系列支持清潔和輕型半導體加工應用，如灰化/剝離和注入端點站應用。
EPX系列以極輕、極小的封裝提供工具上泵送功能，可實現異常清潔的真空。EPX泵采用已獲的獨特單軸再生Holweck?分級機構，能夠從大氣壓抽空到小于7×10-7Torr的極限壓力。
EPX泵能夠以模塊化組件提供增強的性能，既可集成到制程工具，又可以遠程安裝。此外，通過集成的MicroTIM電子模塊還可以與制程工具輕松建立通信連接。
?公司主要經營進口真空泵、進口真空泵配件、真空泵維修保養，二手真空泵，真空泵機組及真空系統設計安裝；主營品牌：德國BUSCH普旭，德國Pfeiffer普發，Rietschle里其樂/偉力，Leybold萊寶，Becker貝克，英國BOC 愛德華，日本ULVAC愛發科，Orion好利旺，TAIKO大晃，荏原Eabra，法國ALCATEL阿爾卡特，韓國KODIVAC大亞，DOVAC斗一，臺灣漢鐘HANBELL，沈陽科儀SKY等國際知名品牌，服務熱線13509820116。
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