BROOKS 5850E質量流量計 |
5850E質量流量計
數模橡膠密封;
流量范圍:3-30000 sccm;
精度:±0.5% of rate(20%-**** FS);
±0.2% FS(<20% FS);,
±1.0%F.S.(>1100 slpm)
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