催化燃燒裝置所發生的氣—固相催化反應的實質是活性氧參與的深度氧化作用。在催化燃燒過程中，催化劑的作用是降低活化能，同時催化劑表面有吸附作用，使得反應物富集于表面。借助催化劑的作用使得廢氣在較低的起燃溫度條件下，發生無焰燃燒，并氧化分解為CO2和H2O，同時放出大量的熱能，從而達到去除廢氣中有害物質的目的。
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