化學名稱:全氟丁二烯，六氟-1,3-丁二烯
結構式:CF2=CF-CF=CF2
分子式:C4F6
分子量:162.03
沸點（℃):6
凝固點（℃）:-130
臨界溫度（℃）:139.6
臨界壓力（bar）:31.9
液體密度（15℃，kg/l）:1.44
蒸汽密度（kg/m3,@15℃）:6.8
蒸汽壓（25℃，bar）:2.11
汽化潛熱（熔點時，1.013bar情況下，kJ/kg）:161.8
空氣中的可燃范圍（%vol):7-73
ODP:0
GWP100年:＜1
大氣停留時間（天）:1.1
全氟丁二烯/C4F6作為一種溫室效應GWP極低，綠色環保的高效干蝕刻氣體，具有更快刻蝕速率、更高選擇性和更高**性，更適合于高深寬比的蝕刻工藝。
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