技術(shù)參數(shù)：
1、處理氣量： 5~500Nm3/h
2、純化后氬氣純度 99.9995%
純氬技術(shù)要求應(yīng)符合下表的規(guī)定符合：GB/T4842-2006
項(xiàng)目 | 原料氣指標(biāo) | 純氬指標(biāo) | 純化后指標(biāo) |
氬氣純度(體積分?jǐn)?shù))/10-2 | 99.99% | 99.999% | 99.9995% |
氫氣含量(體積分?jǐn)?shù)) ≤ ppm | 5 | 1.0 | 0.5 |
氧氣含量（體積分?jǐn)?shù)）≤ ppm | 10 | 1.5 | 1.0 |
氮含量（體積分?jǐn)?shù)）≤ ppm | 50 | 4 | 2 |
烴類含量（體積分?jǐn)?shù)）≤ ppm | 20 | 1 | 0.5 |
水份含量（體積分?jǐn)?shù)）≤ ppm | 15 | 3 | 2.0 |
裝置特點(diǎn)：
1. 凈化則采用了世界**的凈化材料。其特點(diǎn)有吸附深度好，吸收雜質(zhì)氣體量大的特點(diǎn)，純度可達(dá)99.9999%以上。2. 并安裝了小于0.1μ的金屬過(guò)濾器。保證了氣體粉末的要求。
本裝置的閥門采用國(guó)內(nèi)外專業(yè)閥門公司的**產(chǎn)品，保證了產(chǎn)品的高純度無(wú)滲透及安全可靠性。4. 設(shè)備中全部容器、管道、閥門均為不銹鋼材質(zhì)。5. 設(shè)備中全部選用我公司跟蹤國(guó)際**水平而研制的凈化材料，具有凈化深度好、安全可靠、可反復(fù)再生的特點(diǎn)。6. 設(shè)備中的主要控制儀表全部采用國(guó)內(nèi)外**產(chǎn)品。7. 接頭采用**的高純接頭,保證了無(wú)滲透。8. 外觀設(shè)計(jì)采用國(guó)際流行顏色及形式,使產(chǎn)品更美觀。高純氬氣主要用途：用于焊接、不銹鋼制造、冶煉，還用于半導(dǎo)體制造工藝中的化學(xué)氣相淀積、晶體生長(zhǎng)、熱氧化、外延、擴(kuò)散、多晶硅、鎢化、離子注入、載流、燒結(jié)等氬氣作為制作單晶及多晶硅的保護(hù)氣，為了提高硅晶體的質(zhì)量，如何選用較高純度的氬氣，是制作硅晶體的一個(gè)議題。 氬氣純化裝置是針對(duì)需要使用超高純度氬氣的客戶而設(shè)計(jì)的。
歡迎新老用戶選擇我公司產(chǎn)品：氬氣凈化機(jī)，氬氣凈化器，高純氬氣凈化，高純氬氣凈化設(shè)備，高純氬氣純化設(shè)備，高純氬氣純化裝置，YAC系列氬氣凈化設(shè)備，全自動(dòng)氬氣純化設(shè)備，大型氬氣凈化設(shè)備，硅材料行業(yè)用氬氣凈化設(shè)備，硅材料用除氧、除水氬氣純化裝置,氣站專用氬氣凈化設(shè)備，氣站專用氬氣純化器，氣站用高純氬設(shè)備,單晶硅行業(yè)用氬氣除氧、干燥設(shè)備，多晶硅行業(yè)用氬氣除氧、干燥設(shè)備,高純氬氣提純?cè)O(shè)備，鎢化氬氣提純機(jī),多晶硅氬氣過(guò)濾器，氬氣純化裝置價(jià)格，氬氣純化裝置廠家，
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