在半導(dǎo)體工業(yè)中，超純度石墨制品主要是作為加熱系統(tǒng)、保溫罩、電極等存在，采用高純石墨做這些部件也是充分利用了超純度石墨制品耐高溫這一特點。高純石墨的耐腐蝕、抗氧化、導(dǎo)電導(dǎo)熱的優(yōu)點應(yīng)用到了半導(dǎo)體工業(yè)中，使工件使用壽命更長、更加減磨省電。我司采用德國半導(dǎo)體等級石墨材料，精密制作離子注入用石墨耗材，提供標(biāo)準(zhǔn)件及客制化規(guī)格。
超純度石墨制品根據(jù)均勻細顆粒的特性可作為低原子序數(shù)材料，對離子、等離子具有較強的抗轟擊能力，很強的抗腐蝕性，超純度石墨制品沒有金屬離子不會對半導(dǎo)體產(chǎn)生污染，金屬部件暴露在離子注入設(shè)備中會造成高的損耗，故這時應(yīng)用相應(yīng)的石墨件來作屏蔽罩。用于等離子cvd用部件?等離子vcd用感受器、電極室、噴嘴、內(nèi)襯、濺射用電極、movcd感受器等。
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