Bruker布魯克Dektak XTL 測針輪廓儀系統

大尺寸晶片和面板測量

全新的Dektak XTL™探針式輪廓儀優異的精確度、可重復性和再現性廣泛應用于大尺寸晶片及面板制造業。該系統可容納多達350mm x 350mm的樣品，使得傳奇性的Dektak系統可以實現從200mm到300mm的晶片制造。

DektakXTL運算符v1

Dektak XTL具有占地面積小和帶聯鎖門的集成隔離功能，非常適合當今苛刻的生產車間環境。其雙攝像頭架構可增強空間意識，其高度自動化可提高制造吞吐量。布魯克的**Vision64高級生產界面帶有可選的模式識別功能，使數據收集變得直觀，可重復，并*大程度地減少了操作員之間的差異。

新的軟件功能使Dektak XTL成為功能*強大，*易于使用的手寫筆探查器。該系統使用與布魯克光學輪廓儀系列完全兼容的Vision64軟件。 Vision64軟件可使用數百種內置分析工具來實現無限制的測量站點，3D映射和高度定制的表征。

還可以使用Vision Microform軟件來測量形狀，例如曲率半徑。使用模式識別可*大程度地減少操作員錯誤并提高測量位置精度。數據收集以及2D和3D分析在一個軟件包中，具有直觀的流程。每個系統都帶有Vision軟件許可證，可以將其安裝在裝有Windows 7 OS的單獨PC上，以便可以在您的辦公桌上創建數據分析和報告。

DektakXTL Vision64屏幕截圖

Dektak XTL已經針對持續生產工作時間和*大生產量在工藝開發和質量保證與質量控制應用方面進行了全面優化，將本產品設計為業界*易使用的探針式輪廓儀。

技術細節：

****的性能和優于5埃（

· 單拱龍門式設計實現了突破性的掃描穩定性

· **的”智能化電子器件”實現了低噪聲的新標桿

高效率且易于使用

· 直觀化的Vision64TM軟件簡化了用戶界面的操作過程

· 獨特的傳感器設計使得在單一平臺上即可實現超微力和較大的力測量

· 自對準的探針設計使用戶可以輕而易舉地更換探針

探針式輪廓儀的全球***

· 性能**，物超所值

· 完備的零配件為您優化或延伸機臺的多種應用提供保障