DektakXT桌面型探針式表面輪廓儀
布魯克DektakXT®臺階儀設計創新,實現了更高的重復性和分辨率,垂直高度重復性高達4埃。這項測量性能的提高,達到了過去四十年Dektak®體系技術創新的頂峰,更加穩固了其行業中的**地位。不論應用于研發還是產品測量,在研究工作中的廣泛使用是的DektakXT地功能更強大,操作更簡便易行,檢測過程和數據***也更加完善。技術的突破也實現了納米尺度的表面輪廓測量,從而可以廣泛的應用于微電子器件,半導體,電池,高亮度發光二極管的研發以及材料科學領域。
探針式輪廓儀的黃金標準
DektakXT®探針式輪廓儀革命性的突破設計創新,實現了垂直高度重復性高達4埃,數據***能力提高了40%。這一里程碑的創新和突破,使得DektakXT實現了納米尺度的表面輪廓測量,從而可以廣泛的應用于微電子器件,半導體,電池,高亮度發光二極管的研發以及材料科學領域。
技術創新四十余載,不斷突破用攀高峰
Dektak品牌是首臺基于微處理器控制的輪廓儀,首臺實現微米測量的臺階儀,首臺可以達到3D測量的儀器,首臺個人電腦控制的輪廓儀,首臺全自動300mm臺階儀。現在,全新的DektakXT延續了這種開創性的風格,成為世界**臺采用具有具有單拱龍門式設計,配備全彩HD攝像機,并且利用64位同步數據處理模式完成*佳測量和操作效率的臺階儀。
提高測量和數據分析速度
首次采用獨特高速的直接驅動掃描樣品臺,DektakXT在不犧牲分辨率和基底噪音水平的前提下,大大縮短了每次掃描的間隔時間,將數據***處理的速度提高40%。另外,DektakXT采用布魯克具有64位數據***同步分析的Vision64,可以提高大范圍3D形貌圖的高數據量處理速度,并且可以加快數據濾波和多次掃描數據庫分析的速度。
提高操作的可重復性
使用單拱龍門結構設計更堅硬持久不易彎曲損壞,而且降低了周圍環境中聲音和震動噪音對測量信號的影響。DektakXT會把系統和環境噪音引起的測量誤差降到*低,能夠更穩定可靠的掃描高度小于10nm的臺階,獲得其形貌特征。
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