岱美儀器技術服務（上海）有限公司

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Profilm3D光學輪廓儀-臺階高度測量、表面粗糙度測量

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一、產品簡介：?

? ?Filmetrics 讓光學輪廓測量價格更實惠，性價比更高. Profilm3D 使用了進的垂直掃描干涉 (VSI) 結合高精確度相移干涉 (PSI) 測量.以前所未見的價格使得表面形貌研究進入次納米等級。通過光學掃描儀掃描表面輪廓可進行臺階高度測量，表面粗糙度測量二、產品特點：

（1）100毫米自動XY樣品平臺，?我們每臺Profilm3D 都已將自動XY樣品平臺以及tip/tilt 功能列為標準配備

（2）The Profilm3D以10倍物鏡優異地提供更寬廣的2毫米視野, 其數位變焦功能有助于緩解不同應用時切換多個物鏡的需要. 可進一步減少總體成本. 本司也提供手動或自動物鏡切換炮塔等配置可彈性運用于需使用多物鏡應用之樣片。

（3）測量速度快，精度高，操作便捷，軟件使用可視化

三、產品參數：

（1）技術參數

厚度范圍, VSI? ? ? ? ? ? ? ? ? 50 nm - 10 mm厚度范圍, PSI? ? ? ? ? ? ? ? ??0 - 3 μmRMS 重復性,VSI? ? ? ? ? ? ?1.0 nmRMS 重復性,?PSI? ? ? ? ? ? ?0.1 nm臺階高度 準確性 1? ? ? ? ? 0.7%臺階高度 重復性 2? ? ? ? ? 0.1%樣品反射率範圍? ? ? ? ? ? ? 0.05% - ****ISO 25178 兼容? ? ? ? ? ? ?是（2）機械部件規格

Z 范圍? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? 100 mmPiezo (壓電)范圍? ? ? ? ? 500 μm垂直掃描速度? ? ? ? ? ? ? ?12? ?μm/secXY 平臺類型? ? ? ? ? ? ? ? ?自動XY 平臺范圍? ? ? ? ? ? ? ? ?100 mm x 100 mmTip/Tilt 平臺? ? ? ? ? ? ? ? +/- 5°, 手動相機? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?2592 x 1944 (5 百萬像素)相機變焦 3? ? ? ? ? ? ? ? ? ? 1X, 2X, 4X系統尺寸，寬x深x高? ? ?300 mm x 300 mm x 550 mm系統重量 15 公（3）物鏡選項

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（4）選配

– 手動 4-物鏡筒及位置感應器– 自動 4-物鏡筒及位置感應器

四、應用實例

（1）臺階高度測量

Profilm3D光學輪廓儀測量臺階高度時，用戶可選取或截取任意掃描區域，并經行任意角度轉換。通過鼠標拖拽即可在3D視窗中完成任意角度的翻轉

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（2）表面粗糙度測量

Profilm3D光學輪廓儀測量臺階表面粗糙度時，用戶可選取或截取任意掃描區域，并經行任意角度轉換。通過鼠標拖拽即可在3D視窗中完成任意角度的翻轉。可測量傾斜面、非傾斜面的的粗糙度

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