| 安捷倫 70 L/s 渦輪分子泵 TwisTorr 74 FS 將 TiwsTorr 拖動級技術和安捷倫懸浮軸承技術相結合，具有高性能、高可靠性及經濟性。這款 70 L/s 渦輪分子泵借助渦輪增壓技術與創新的 TwisTorr 拖動級技術之間的協同作用，可提供高真空性能。懸浮軸承確保低振動和低噪音，適用于高靈敏度儀器和工作環境。 | |||||
| 這款小型渦輪泵**適用于多種應用，包括研發、UHV 系統、核研究和電子顯微鏡。 | |||||
| TwisTorr 74 FS 可提供一體式控制器或機架控制器。 | |||||
| 特性 | |||
| 創新的 TwisTorr 技術 — 對小分子氣體能提供高壓縮比，而非常小巧的轉子設計則實現了高性能和最小的系統占用空間。 | |||
| 高前級耐壓 — 允許使用更小的前級泵，從而降低了系統成本和尺寸。 | |||
| 安捷倫懸浮軸承系統 — 低振動，低噪音，最佳的軸承工作條件，延長泵的使用壽命，實現使用維護成本優化，HEN大程度減少系統停機時間，并保證長時間穩定的抽氣性能。 | |||
| 獨有的軸承和干式潤滑劑 — 免維護、免油，實現任意角度安裝。 | |||
| 抽速 | KF40 | CFF 2.75" | ISO 63 | CFF 4.5" |
| N2 | 44 L/s | 50 L/s | 60 L/s | 60 L/s |
| He | 33 L/s | 40 L/s | 54 L/s | 54 L/s |
| H2 | 28 L/s | 31 L/s | 42 L/s | 42 L/s |
| Ar | 40 L/s | 51 L/s | 59 L/s | 59 L/s |
| 最高氣體通量 (*) | 風冷 | 水冷 | ||
| （環境溫度 35 °C） | （水溫 25 °C/環境溫度 35 °C） | |||
| N2 | 130 sccm | 130 sccm | ||
| Ar | 80 sccm | 80 sccm | ||
| (*) 前級泵 5 m3/h | ||||
| 壓縮比與前級耐壓 (**) | ||||
| N2 | 1.0 × 109 | > 12 mbar | ||
| He | 2.0 × 105 | > 10 mbar | ||
| H2 | 1.0 × 104 | > 04 mbar | ||
| Ar | > 1.0 × 109 | > 14 mbar | ||
| (**) 前級耐壓是指渦輪分子泵仍能產生 100 壓縮比的壓力，該壓力在水冷模式下估算得出 | ||||
| 極限真空（使用推薦的前級泵） | < 5 × 10-10 mbar | |||
| < 3.75 × 10-10 Torr) | ||||
| 抽氣口法蘭 | KF 40、ISO 63、CFF 4.5”、CFF 2.75” | |||
| 前級管道法蘭 | KF 16 NW | |||
| 轉速 | 70000 rpm（1167 Hz 驅動頻率） | |||
| 啟動時間 | < 2 分鐘 | |||
| 推薦的前級泵 | Agilent DS 40M/DS 102 旋片泵 | |||
| Agilent IDP-3/IDP-7 渦旋式干泵 | ||||
| 操作位置 | 任意位置 | |||
| 操作環境溫度 | +5 °C 至 +35 °C | |||
| 空氣相對濕度 | 0%–90%（無冷凝） | |||
| 烘烤溫度 | 在入口法蘭處，ISO 為 80 °C（CFF 為 120 °C） | |||
| 潤滑油 | 永久性潤滑 | |||
| 冷卻要求 | ||||
| 風冷 | 加壓空氣冷卻（環境溫度 5–35 °C） | |||
| 氣流溫度 +5° C 至 +35 °C | ||||
| 水冷 | 水溫 +15 °C 至 +25 °C 水流速最低 65 L/h | |||
| 噪聲聲壓級（全速運行時距離 1 m 處） | 40 dB(A) | |||
| 儲存溫度 | -40 °C 至 +70 °C | |||
| 最高海拔 | 3000 m | |||
| 重量 kg（磅） | ISO 63 | 2.05 (4.50) | ||
| CFF 4.5” | 3.50 (7.70) | |||
| CFF 2.75” | 3.34 (7.35) | |||
| KF 40 | 2.37 (5.22) | |||
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