PICOSUN原子層沉積系統ALD R-1000 Pro
(PICOSUN™ ALD ALD P-1000 Pro)
名稱:原子層沉積系統 產地:芬蘭
Picosun簡介
Picosun是一家全球公司,Picosun的總部位于芬蘭的Espoo,其生產設施位于芬蘭的Masala(Kirkkonummi)。PICOSUN®ALD設備專為高產量和高產量而設計,并且不斷發展以提高效率。Picosun適應性強其客戶包括*** 大的電子制造商,小型的創新型挑戰者以及全球ling先的大學。 Picosun的組織機構和種類繁多的ALD解決方案都可以滿足每個客戶的需求。PICOSUN®研發工具具有獨特的內置可擴展性,可確保將研究結果平穩過渡到大批量工業制造中,而不會出現技術差距。Picosun的熱情在于創新。當您想與設備制造商共同創建定制的ALD解決方案,從而引ling行業發展時,Picosun是您的合作伙伴。
型號:PICOSUN™ ALD ALD P-1000 Pro
PICOSUN™ P系列量產ALD系統定義了高產量ALD的新時代。我們全自動化、真空集群與產線兼容的P系列ALD確保了*大的產出效率,并且具有***的工藝純度和薄膜均勻性,甚至能完全滿足具有*嚴格要求的半導體行業標準。PICOSUN™ P系列ALD高效緊湊的設計節約了昂貴的場地成本,系統的易維護性減少了停工期。ALD技術可以覆蓋各種形狀、各種表面的樣品,可以覆蓋*細小的地方,*難到達的地方。具有高度的保形性、均一性及****無針孔。這使得ALD可以應用于各種行業里,實現各種表面的保護。ALD薄膜可以附著在各種表面上,例如金屬,玻璃,塑料,乃至纖維及粉末。作為氣相、低溫的沉積技術,ALD薄膜可以生長在非常敏感的表面上,例如聚合物薄膜。
技術指標
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襯底尺寸和類型 |
156 mm x 156 mm硅片800~1000片/批次(雙面/背對背) |
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高達400 mm x 600 mm玻璃基板30~50片/批次(雙面/背對背) |
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大批量的3D產品(例如:鐘表部件,珠寶,硬幣,醫療植入部件,機械部件等) |
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多孔,通孔,高深寬比(HAR)樣品 |
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工藝溫度 |
50 - 500 °C |
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基片傳送選件 |
氣動升降(手動裝載,帶叉車forklift cart) |
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全自動轉載,用工業機器人實現 |
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前驅體 |
液態、固態、氣態、臭氧源 |
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前驅源余量傳感器,并提供清洗和裝源服務 |
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8根獨立源管線,*多加載12個前驅體源 |
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重量 |
2000 kg |
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尺寸(W x H x D) |
230 cm x 270 cm x 125 cm |
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選件 |
PICOFLOW™ 擴散增強器,N2發生器,尾氣處理器,定制設計,與工廠軟件連接服務。 |
應用領域
Picosun的ALD技術應用在鐘表部件、珠寶、硬幣上進行防著色,防腐蝕的裝飾涂層。在生物植入醫療部件上的生物兼容、生物活性涂層。致密、惰性、密封、彈性、透明的ALD薄膜技術挑戰傳統的膜生長方式。在PCB防腐蝕保護、防摩損等領域,ALD層大大提升了部件的質量、可靠性及壽命。
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ALD工業領域及應用 |
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產品 |
ALD應用 |
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醫療植入(牙科,連接技術) |
植物活性層, 用來提高骨融 |
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手術固定器 |
合,生物兼容的包覆層 |
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植入醫療器件 |
生物兼容包覆層 |
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(心臟起搏器,耳蝸植入) |
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收藏性硬幣 |
防著色涂層 |
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鐘表部件 |
防著色層或裝飾層 |
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珠寶 |
防著色層或裝飾層 |
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PCB |
防錫晶須及腐蝕 |
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