主動減震臺/減振臺
品牌:HERZ
型號:AVI-400-S
描述:AVI系列是一款緊湊型模塊化的主動隔振系統(tǒng),有利于為基礎(chǔ)研究、應(yīng)用研究、生產(chǎn)等領(lǐng)域所用精密儀器創(chuàng)造穩(wěn)定的測量環(huán)境。AVI系列可在寬頻率范圍內(nèi)進(jìn)行隔振,為原子力顯微鏡、非接觸式表面輪廓儀、激光干涉儀、微型檢測設(shè)備等提供優(yōu)異的隔振性能。

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適用于各類大型電子顯微鏡AEM\SEM\ATM\TEM,干擾儀防震臺,輪廓儀防震臺,電子太平防震臺,超快激光系統(tǒng)防震臺,時頻系統(tǒng)防震臺,大型半導(dǎo)體設(shè)備防震臺,激光設(shè)備主動防震!
產(chǎn)品亮點(diǎn):?
六個空間方向自由隔振(0.5Hz - 200Hz主動隔振, >200Hz被動隔振) ? ? ? ? ? ? ? ? ? 5-20ms響應(yīng)時間 ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?? 低頻隔振性能優(yōu)異,安裝和使用簡單
系統(tǒng)主動檢測輸入振動并動態(tài)消除
緊湊、模塊化的多功能設(shè)計
穩(wěn)定性高,能無故障連續(xù)使用多年
無低頻共振、無空氣要求
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應(yīng)用范圍:
超高真空掃描探針顯微鏡(UHV-SPM)
光刻工具
高精度計量工具
光譜儀器
升級選項:
可與LFS低頻穩(wěn)定器配套使用來增強(qiáng)低頻隔振效果,隔振頻率低頻段延伸至0.5Hz。
技術(shù)參數(shù):
型號:AVI-400M/LP
系統(tǒng)配置:獨(dú)立隔振裝置 & 控制裝置
主動隔振范圍:大致為1.0 Hz - 200 Hz
被動隔振范圍:大致為200 Hz以上
顯示屏信號:多路復(fù)用信號用于示波器顯示器包含和不含隔振的振動水平。
LEDs 指示輸出階段的過載情況。
單元尺寸(每個):190 x 720 x 112.5 Hmm
控制器尺寸:241 x 287 x 142 Hmm
隔振單元重量: 20kg
負(fù)載能力:800 kg (同等/低重心)
輸入電壓: 90 - 125 VAC / 200 - 250 VAC, 50 - 60 Hz
功耗:通常18W
溫度范圍:5℃ - 40℃
相對濕度:10 - 90 % (5 - 30 ℃)?10 - 60 % (30 - 40 ℃)
室內(nèi)/室外使用:僅用于室內(nèi)
隔振效果:
性能對比圖:SEM的研究人員在兩種獨(dú)特條件下進(jìn)行成像:不含隔振系統(tǒng)和包含AVI系列隔振臺。當(dāng)使用AVI系列隔振臺搭載SEM時,所得圖像表明圖像質(zhì)量和整體測量清晰度得到大幅提升。

主動減震臺/減振臺提供樣機(jī)試用
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