s8030系列
◆ 單軌高速三維錫膏檢測系統
◆ PSLM PMP 可編程相位輪廓調制測量技術
◆ 檢測項目：體積，面積，高度，XY偏移，形狀
◆ 檢測不良類型：漏印，多錫，少錫，連錫，偏移，形狀不良
◆ 最小檢測元件：01005（英制）
◆ XY定位精度：1um Grating ruler
◆ 重復性精度：高度<1um(4sigma)；面積/體積<<1%(4sigma)
◆ 460x460mm 檢測面積
◆ 超高幀數高精度工業相機
◆ 檢測速度：0.3秒/FOV
◆ Mark點識別：0.5秒/個
◆ 最大檢測高度：+/-550um （+/-1200um為選件）
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