EVG?7200 自動化SmartNIL?UV納米壓印光刻系統(tǒng)
具有EVG專有的SmartNIL?技術(shù)的自動全場UV納米壓印解決方案（**200毫米）
技術(shù)數(shù)據(jù)
EVG7200系統(tǒng)利用EVG的創(chuàng)新SmartNIL技術(shù)和EVG的材料專長來實現(xiàn)微米級和納米級結(jié)構(gòu)的批量生產(chǎn)。該系統(tǒng)將SmartNIL的**軟印和壓印功能帶到了更大的基板和更小的幾何形狀上，批量生產(chǎn)時的分辨率低至40 nm *。這帶來了更大的擁有成本（CoO）收益，并實現(xiàn)了納米壓印光刻技術(shù)的全部制造潛力。
*分辨率取決于過程和模板
特征
體積驗證的壓印技術(shù)，具有出色的復(fù)制保真度
專有的SmartNIL?技術(shù)和多次使用的聚合物印模技術(shù)
集成式壓印，UV固化，脫模和工作印模制作
盒帶到盒帶自動處理以及半自動R＆D模式
可選的頂部對齊
可選的迷你環(huán)境
適用于所有市售壓印材料的開放平臺
從研發(fā)到生產(chǎn)的可擴(kuò)展性
系統(tǒng)外殼，可實現(xiàn)**過程穩(wěn)定性和可靠性
技術(shù)數(shù)據(jù)
晶圓直徑（基板尺寸）75至200毫米；
解析度≤40 nm（分辨率取決于模板和工藝）
支持流程：SmartNIL?
曝光源：大功率LED（i線）> 400 mW /cm2
對準(zhǔn)：可選的頂部對齊
自動分離：支持的
迷你環(huán)境和氣候控制：可選的
工作印章制作：支持的
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