EVG?720 自動化SmartNIL?UV納米壓印光刻系統
具有EVG專有的SmartNIL?技術的自動全場UV納米壓印解決方案（**150毫米）
技術數據
EVG720系統利用EVG的創新SmartNIL技術和材料專業知識，能夠大規模制造微米和納米級結構。具有SmartNIL技術的EVG720系統能夠在大面積上印刷小至40 nm *的納米結構，具有****的吞吐量，非常適合批量生產下一代微流體和光子器件，例如衍射光學元件（ DOEs）。 *分辨率取決于過程和模板
特征
體積驗證的壓印技術，具有出色的復制保真度
專有的SmartNIL?技術和多次使用的聚合物印模技術
集成式壓印，UV固化脫模和工作印模制造
盒帶到盒帶自動處理以及半自動R＆D模式
可選的頂部對齊
可選的迷你環境
適用于所有市售壓印材料的開放平臺
從研發到生產的可擴展性
系統外殼，可實現**過程穩定性和可靠性
EVG720技術數據
晶圓直徑（基板尺寸）75至150毫米
解析度≤40 nm（分辨率取決于模板和工藝）
支持流程：SmartNIL?
曝光源：大功率LED（i線）> 400 mW /cm2
對準：可選的頂部對齊
自動分離：支持的
迷你環境和氣候控制：可選的
工作印章制作：支持
免責聲明：當前頁為 EVG?720 自動化SmartNIL?UV納米壓印光刻系統產品信息展示頁，該頁所展示的 EVG?720 自動化SmartNIL?UV納米壓印光刻系統產品信息及價格等相關信息均有企業自行發布與提供， EVG?720 自動化SmartNIL?UV納米壓印光刻系統產品真實性、準確性、合法性由店鋪所有企業完全負責。世界工廠網對此不承擔任何保證責任，亦不涉及用戶間因交易而產生的法律關系及法律糾紛，糾紛由會員自行協商解決。
友情提醒：世界工廠網僅作為用戶尋找交易對象，就貨物和服務的交易進行協商，以及獲取各類與貿易相關的服務信息的渠道。為避免產生購買風險，建議您在購買相關產品前務必確認供應商資質及產品質量。過低的價格、夸張的描述、私人銀行賬戶等都有可能是虛假信息，請您謹慎對待，謹防欺詐，對于任何付款行為請您慎重抉擇。
投訴方式：fawu@gongchang.com是處理侵權投訴的專用郵箱，在您的合法權益受到侵害時，請將您真實身份信息及受到侵權的初步證據發送到該郵箱，我們會在5個工作日內給您答復，感謝您對世界工廠網的關注與支持！
(c)2008-2026 世界工廠網V3.6 All Rights Reserved 豫ICP備2024066506號
