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EVG?50 Automated Metrology System
EVG?50 自動(dòng)化計(jì)量系統(tǒng)
適用于鍵合疊層和單晶片的高通量,高分辨率計(jì)量
特征
EVG50(全自動(dòng)獨(dú)立工具)和在線計(jì)量模塊(集成在EVG的大批量生產(chǎn)系統(tǒng)中)可在各種應(yīng)用中采用不同的測(cè)量方法,從而實(shí)現(xiàn)高速,高精度的測(cè)量。
該工具的應(yīng)用范圍包括用于確定中間層的總厚度變化(TTV)的多層厚度測(cè)量,鍵合界面的檢查以及抗蝕劑厚度的測(cè)量,并滿足了良率驅(qū)動(dòng)的半導(dǎo)體行業(yè)的最苛刻要求。
特征
具有業(yè)界**的吞吐量和分辨率的多層計(jì)量
多層厚度映射
綁定界面檢查
低接觸邊緣處理
無(wú)顆粒
全區(qū)域可訪問的正面和背面
自校準(zhǔn)可提高系統(tǒng)重現(xiàn)性并延長(zhǎng)生產(chǎn)時(shí)間
多種輸出格式
100%生產(chǎn)檢驗(yàn)
水下混凝土內(nèi)部結(jié)構(gòu)檢測(cè)系統(tǒng)
optics卓顯智能X-RAY檢查機(jī)PCB孔位對(duì)
Dage XD7500VR Jade FP X光檢查機(jī)
英國(guó)雷迪PCMX管道防腐層檢測(cè)儀內(nèi)置GP
無(wú)線高清超遠(yuǎn)長(zhǎng)距管道潛望鏡Q5HD|實(shí)
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