主動隔振系統(tǒng)-防震臺-HERZ

為各類透射式電子顯微鏡(TEM)、掃描式電子顯微鏡(SEM)、發(fā)射式電子顯微鏡、探針顯微鏡、掃描隧道顯微鏡、原子力顯微鏡(AFM)、橫向力顯微鏡。白光干涉儀,光刻機,微納米結構和加工儀器!**頻隔震臺、防震臺、減震臺、除震臺,主動隔振臺,主動減振臺,主動防震臺,主動防振系統(tǒng)。
功能介紹:
是一款緊湊型、模塊化的六自由度隔振系統(tǒng),用于抵消工作環(huán)境對靈敏度高的精密設備產(chǎn)生的不必要振動,以提高精密設備的性能,具有**的性能及通用性。該隔振臺的主動隔振頻率為 0.5Hz - 200Hz,被動隔振頻率>200Hz,其能夠整合到現(xiàn)有的需要低頻隔振的設備中,主動檢測輸入振動并動態(tài)消除;允許自由選擇整個系統(tǒng)的尺寸和配置,可通過增加隔振模塊的數(shù)量來支持更大的儀器載重量。安裝簡單,易操作,穩(wěn)定性高,能無故障連續(xù)使用多年。

Table Stable主動隔振技術:
-主動和被動兩種隔離機制同時工作,產(chǎn)生**隔振效果
-***的壓電陶瓷技術,高效探測傳入的振動并主動地消除振動
-無低頻共振
-在空間6個自由度都有**的寬頻譜衰減能力
-高剛性設計

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