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信息來源：江蘇英思特半導(dǎo)體科技有限公司
制程應(yīng)用:顯影制程，蝕刻（微蝕刻）制程，去光阻清洗制程
去蠟（膠）清洗制程，精密清洗制程，光罩去光阻清洗制程
控制模式：手動(dòng)控制模式，自動(dòng)控制模式
項(xiàng)目 數(shù)據(jù)
適用對(duì)象：硅晶片 2-12inch 25Pcs/cassette 1cassette/Batch Or 2assette/Batch
藍(lán)寶石晶片 2-8inch 25Pcs/cassette 1cassette/Batch Or 2assette/Batch
砷化鎵晶片 2-6inch 25Pcs/cassette 1cassette/Batch Or 2assette/Batch
鍺晶片 2-6inch 25Pcs/cassette 1cassette/Batch Or 2assette/Batch
碳化硅晶片 2-8inch 25Pcs/cassette 1cassette/Batch Or 2assette/Batch
磷化銦晶片 2-4inch 25Pcs/cassette 1cassette/Batch Or 2assette/Batch
石英晶片 2-6inch 25Pcs/cassette 1cassette/Batch Or 2assette/Batch
基本規(guī)格：機(jī)臺(tái)封面 聚丙烯磁白PP板材（厚度≧10mm）Or China SUS板材（厚度≧2mm）
機(jī)臺(tái)主機(jī)強(qiáng)度結(jié)構(gòu) 整體骨架表面噴涂處理 Or China SUS矩形材（厚度≧2mm）
機(jī)臺(tái)視窗 透明、抗靜電之聚氯乙烯PVC（厚度≧5mm） Or China 鋼化玻璃（厚度≧5mm）
選配模塊：1.腐蝕液恒溫系統(tǒng) 2.腐蝕液循環(huán)過濾系統(tǒng) 3.超（兆）聲系統(tǒng) 4.全自動(dòng)供液系統(tǒng)
5.消防系統(tǒng) 6.可結(jié)合客戶端通訊協(xié)定資料儲(chǔ)存、CIM系統(tǒng)、資料分析儲(chǔ)存建立管理
機(jī)械臂裝置：Robo的工藝路徑種類 N種（設(shè)備出廠前載入PLC內(nèi)）
機(jī)械手傳送定位精度 ≦ 0.3mm
機(jī)械手傳動(dòng)預(yù)估速度 垂直升降速度不小于4000mm/min,水平移動(dòng)速度不小于6000mm/min
機(jī)械臂走向 前后位移一對(duì)一
轉(zhuǎn)向、前后、左右、上下位移一對(duì)四
全程轉(zhuǎn)向左右、前后、上下位移一對(duì)多槽等
設(shè)備制造：江蘇英斯特半導(dǎo)體科技有限公司
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