鎢燈絲掃描電鏡 VEGA

VEGA系列的設(shè)計適合各種SEM應(yīng)用及當(dāng)今研究和工業(yè)的需求。經(jīng)過10多年的不斷發(fā)展，TESCAN已經(jīng)成功開發(fā)、研制和制造了VEGA的第三代產(chǎn)品。新一代的VEGA給用戶帶了***新的技術(shù)優(yōu)勢，包括改進的高性能電子設(shè)備使成像速度更快，包含了靜態(tài)和動態(tài)圖像扭曲補償技術(shù)的超快掃描系統(tǒng)，內(nèi)置的編程軟件等，使VEGA系列產(chǎn)品保持著非常高的性價比。

LaB6發(fā)射源

TESCAN能提供介于肖特基與鎢燈絲性能之間的LaB6（六硼化鑭）作為電子發(fā)射源。LaB6的優(yōu)勢包括：穩(wěn)定的電子發(fā)射源（與場發(fā)射電子源相比），在陰極較低溫度下可獲取比較高的束流（與鎢燈絲電子源相比）。這就意味著在整個范圍的加速電壓和很長的使用壽命中，LaB6可以保持很高的亮度和分辨率。基于其非常高的發(fā)射電流，LaB6是需要大電子束流應(yīng)用領(lǐng)域的正確選擇。

現(xiàn)代電子光路

· 獨特的四透鏡大視野光路設(shè)計提供各種各樣的工作與顯示模式

· 以電磁的方式改變物鏡光闌——中間鏡的作用如同"光闌轉(zhuǎn)換器"

· 透鏡與線圈的**材料使成象率達到20ns/像素，并減少了動態(tài)扭曲效應(yīng)

· 結(jié)合了完善的電子光學(xué)設(shè)計軟件的實時電子束追蹤（In-Flight Beam Tracing™），可模擬和優(yōu)化電子束

· 鏡筒設(shè)計提供了全自動電子光路設(shè)置，鏡筒不含機械對中結(jié)構(gòu)

· 3維電子束技術(shù)提供了實時立體圖像

檢修方便

只要很短的停機檢查后就能保持電鏡長時間處于***佳狀態(tài)。每個細節(jié)設(shè)計得很仔細，使得儀器的效率***大化，操作***簡化。

自動操作

通過一次點擊就可以進行自動燈絲加熱和電子槍對中。眾多的自動程序減少了用戶的操作時間，并提供了操作的自動導(dǎo)航與自動化分析。通過內(nèi)置腳本語言（Python）用戶可以進入軟件大多數(shù)功能，包括電鏡控制、樣品臺導(dǎo)航、圖像***、處理與分析。通過腳本語言用戶也可以自定義軟件的自動操作。

用戶界面友好的軟件

· 用戶界面有各種語言版本

· 多用戶界面（包括了EasySEMTM模式）不同賬戶的權(quán)利使常規(guī)分析過程更快

· 圖像文件管理與報告生成

· 內(nèi)置的自動系統(tǒng)檢查

· 通過局域網(wǎng)或互聯(lián)網(wǎng)可實現(xiàn)電鏡遠程診斷

· 模塊化軟件體系結(jié)構(gòu)

· 標準的軟件模塊包括了：測量工具、圖像處理、對象區(qū)域等

· 選配軟件包括了：顆粒度分析、三維表面重構(gòu)等

VEGA3 GM

VEGA3 GM是一款由計算機控制，可在高低真空模式下工作的全自動鎢燈絲(選配LaB6)掃描電子顯微鏡，具有突出的光學(xué)性能，清晰的數(shù)字化圖像，成熟的操作軟件，用戶界面友好等特征。基于Windows™平臺的操作軟件提供了簡易的電鏡操作方式和完整的圖像***功能，可以保存標準文件格式的圖片，可以對圖像進行管理、處理和測量，實現(xiàn)了電鏡的自動設(shè)置和許多其它自動操作。

VEGA3 XM

VEGA3 XM是一款由計算機控制，可在高低真空模式下工作的全自動鎢燈絲掃描電子顯微鏡，具有突出的光學(xué)性能，清晰的數(shù)字化圖像，成熟的操作軟件，用戶界面友好等特征。基于Windows™平臺的操作軟件提供了簡易的電鏡操作方式和完整的圖像***功能，可以保存標準文件格式的圖片，可以對圖像進行管理、處理和測量，實現(xiàn)了電鏡的自動設(shè)置和許多其它自動操作。

VEGA3 LM

VEGA3 LM是一款由計算機控制，可在高真空和低真空模式下工作全自動化鎢燈絲掃描電子顯微鏡，具有突出的光學(xué)性能，清晰的數(shù)字化圖像，成熟的操作軟件，用戶界面友好等特征。基于Windows™平臺的操作軟件提供了簡易的電鏡操作方式和完整的圖像***功能，可以保存標準文件格式的圖片，可以對圖像進行管理、處理和測量，實現(xiàn)了電鏡的自動設(shè)置和許多其它自動操作。

VEGA3 SB - EasyProbe

VEGA 3 SBU - EasyProbe是一款掃描電子顯微鏡（SEM）與X-射線能譜儀（EDS）的一體化系統(tǒng)，其具有圖像質(zhì)量高，自動化程度高，操作簡單，能實時快速進行元素分析等特點。另外，可變真空模式下，用戶可以在自然狀態(tài)下觀測不導(dǎo)電樣品。

VEGA3 SB

VEGA3 SB是一款完全由計算機控制的全自動鎢燈絲掃描電子顯微鏡，具有突出的光學(xué)性能，清晰的數(shù)字化圖像，成熟的操作軟件，用戶界面友好等特征。基于Windows™平臺，VEGA系列的操作系統(tǒng)配置了包括中文在內(nèi)的多語種掃描電鏡操作界面（唯yi使用核心漢化操作軟件的掃描電鏡），獲取圖片后可以用常見的標準格式存儲圖像，強化了圖片歸檔、圖像處理和測量、電鏡自動化及其他的一些自動功能。

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鎢燈絲掃描電鏡 VEGA

· VEGA3 GM

· VEGA3 XM

· VEGA3 LM

· VEGA3 SB - EasyProbe

· VEGA3 SB

產(chǎn)品列表

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應(yīng)用實例

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 鎢燈絲掃描電鏡 VEGA

VEGA3 GM是一款由計算機控制，可在高低真空模式下工作的全自動鎢燈絲(選配LaB6)掃描電子顯微鏡，具有突出的光學(xué)性能，清晰的數(shù)字化圖像，成熟的操作軟件，用戶界面友好等特征。基于Windows™平臺的操作軟件提供了簡易的電鏡操作方式和完整的圖像***功能，可以保存標準文件格式的圖片，可以對圖像進行管理、處理和測量，實現(xiàn)了電鏡的自動設(shè)置和許多其它自動操作。

· 概述

分析潛力

· GM樣品室配備有5軸馬達驅(qū)動樣品臺

· 多于20個接口，優(yōu)化的幾何設(shè)計更適合安裝能譜儀（EDS）、波譜儀（WDX）、電子背散射衍射（EBSD）

· **YAG閃爍器式探頭

· 可選各種探頭和配件

· 渦輪分子泵和機械泵同時工作，幾分鐘即可達到儀器操作需要的真空狀態(tài)

· 在可變真空模式下可觀測不導(dǎo)電的樣品（XMU型號）

· 可選樣品室減振方式

· 3維Metrology軟件提供了三維重構(gòu)與3維測量功能

VEGA3配置GM型號適合觀測大樣品。VEGA3 GMH超大樣品室，高真空模式，適用于觀測大型導(dǎo)電材料。VEGA3 GMU可變真空式掃描電鏡，體現(xiàn)了高真空模式和低真空模式的優(yōu)點。在低真空模式下可以觀測不導(dǎo)電的樣品，不需要噴金。

配件

二次電子探頭（SE），ET型二次電子探頭（YAG 閃爍體）可移動式背散射電子探頭（RBSE）*，可移動環(huán)行閃爍體類（YAG）具有高靈敏度和原子序數(shù)分辨率（0.1Z）低真空二次電子探頭探針電流測量壓差式防碰撞報警裝置可觀察樣品室內(nèi)部的紅外線攝像頭冷臺等，各種配件可供選擇

標配：

· 測量

· 圖象處理

· 3維掃描

· 硬度測量

· 多圖像校準

· 對象區(qū)域

· 自動關(guān)機時間

· 公差

· 編程軟件

· 定位

· 投影面積

· EasySEMTM

根據(jù)實際配置和需求

鎢燈絲掃描電鏡 VEGA

VEGA3 XM是一款由計算機控制，可在高低真空模式下工作的全自動鎢燈絲掃描電子顯微鏡，具有突出的光學(xué)性能，清晰的數(shù)字化圖像，成熟的操作軟件，用戶界面友好等特征。基于Windows™平臺的操作軟件提供了簡易的電鏡操作方式和完整的圖像***功能，可以保存標準文件格式的圖片，可以對圖像進行管理、處理和測量，實現(xiàn)了電鏡的自動設(shè)置和許多其它自動操作。

· 概述

分析潛力

· XM樣品室配備有5軸馬達驅(qū)動樣品臺

· 多于12個接口，優(yōu)化的幾何設(shè)計更適合安裝能譜儀（EDS）、波譜儀（WDX）、電子背散射衍射（EBSD）

· **YAG閃爍器式探頭

· 可選各種探頭和配件

· 渦輪分子泵和機械泵同時工作，幾分鐘即可達到儀器操作需要的真空狀態(tài)

· 在可變真空模式下可觀測不導(dǎo)電的樣品（XMU型號）

· 可選樣品室減振方式

· 3維Metrology軟件提供了三維重構(gòu)與3維測量功能

VEGA3配置

XM型號適合觀測大樣品。