納米壓印設備之熱壓印：EVG510HE

一、 簡介

EVG公司成立于1980年，公司總部和制造廠位于奧地利，在美國、日本和臺灣設有分公司，并在其他各地設有銷售代理及售后服務部，產品和服務遍及世界各地。

EVG公司是一家致力于半導體制造設備的全球供應商，其豐富的產品系列包括：涂膠和噴膠/顯影機/熱板/冷板、掩模版光刻/鍵合對準系統、基片熱壓鍵合/低溫等離子鍵合系統、基片清洗機、基片檢測系統、SOI 基片鍵合系統、基片臨時鍵合/分離系統、納米壓印系統。

目前已有數千臺設備安裝在世界各地，被廣泛地應用于MEMS微機電系統/微流體器件，SOI基片制造，3D封裝，納米壓印，化合物半導體器件和功率器件等領域。

EVG是世界上為數不多的可以商業化納米壓印設備的好的公司，可為客戶提供完整的納米壓印方案，包括熱壓印、紫外壓印、微接觸印刷。EVG公司以其zhuan li的極其優異的對準技術和好的的熱壓技術為納米壓印的成功實施打下了堅實的基礎。

EVG510HE是一款半自動的熱壓印設備，用于硬模壓印和納米印刷。該熱壓印系統配備了一個通用的熱壓腔室，具備高真空和高接觸壓力能力，可以處理用于熱壓印的所有聚合物材料。EVG510HE可以實現長寬比的熱壓印和多重脫模工藝，為客戶提供高質量的圖形轉移和納米級分辨率。

二、應用范圍

納米壓印技術主要應用于如下方面：

LEDS 制作，LED PSS納米壓印工藝，LED納米透鏡陣列；微流體學；芯片實驗室；抗反射層； 納米壓印光柵； 蓮花效應；光子帶隙；光學及通訊：光晶體，激光器件；生物技術解決方案：醫藥分析，血液分析，細胞生長。

二、 主要特點

u 用于聚合物襯底和旋涂樹脂的熱壓印；

u 自動化熱壓印程序；

u EVGzhuan li的單獨對準技術用于壓印和印刷前對準；

u 全程軟件控制工藝流程的運行；

u 外置熱壓脫模和冷卻臺；

u 紫外納米壓印可選

四、技術參數