信息來源：江蘇英斯特半導體科技有限公司
項目???????????????????????????????????????????????數據
適用對象：石英爐管?????????????????????????≦480mm*L3500mm,1件/Batch
基本規格：1.機臺封面????????????????????????聚丙烯磁白PP板材（厚度≧10mm）
? ? ? ? ? ? ? ?? 2.機臺主機強度結構????????????????整體骨架表面噴涂處理
? ? ? ? ? ? ? ?? 3.機臺視窗????????????????????????透明、抗靜電之聚氯乙烯PVC（厚度≧5mm）
選配模塊：1二流體內部噴流蝕刻、清洗系統
? ? ? ? ? ? ? ?? 2全自動烘干系統
? ? ? ? ? ? ? ? 3循環多重過濾系統
機臺特點：1設備藥液的添加均通過自動供液系統統一補給
? ? ? ? ? ? ? ?? 2管路系統、電氣控制系統、伺服電機及絲桿導軌等關鍵核心部件均采用進口標準產品，配置模組化，維? 護保修便利，?非期貨庫存品工廠內均建立安全存量
? ? ? ? ? ? ? ? 3系統單元高穩定、高定位、高可調性
? ? ? ? ? ? ? ? 4作業區內酸堿氣體多種安全主動及被動保護相結合，保證操作人員作業環境及人身安全
? ? ? ? ? ? ? ? 5客制化設計能力佳，高設計能力滿足客戶制程工藝需要
? ? ? ? ? ? ? ? 6位于設備外部的化學品管路管材須用雙套管，雙套管管材采用PFA外包硬透明PVC，設備內部化學品管路采用PFA?單?層管
機械臂裝置：Robot的工藝路勁種類??????????N種（設備出廠前載入PLC內）
? ? ? ? ? ? ? ? ? ? 機械手傳送定位精度???????????≦0.3mm
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機械手傳動預估速度???????????垂直升降速度不小于4000mm/min，水平移動速度不小于6000mm/min
制程控制：PLC控制方式
設備制造：江蘇英斯特半導體科技有限公司
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