信息來源：江蘇英思特半導體科技有限公司
項目?????????????????????????????數據
適用對象：藍寶石晶片?????????2-8inch??25PCS/cassette??1?cassette/Batch?Or?2?cassette/Batch
??????????砷化鎵晶片?????????2-6inch??25PCS/cassette??1?cassette/Batch?Or?2?cassette/Batch
??????????碳化硅晶片?????????2-8inch??25PCS/cassette??1?cassette/Batch?Or?2?cassette/Batch
??????????其它襯底基片
基本規格：機臺封面???????????聚丙烯磁白PP板材（厚度≧10mm）Or??China?SUS板材（厚度≧2mm）
??????????機臺主機強度結構???整體骨架表面噴涂處理??Or??China?SUS矩形材（厚度≧2mm）
??????????機臺視窗??????????透明、抗靜電之聚氯乙烯PVC（厚度≧5mm）?Or??China?鋼化玻璃（厚度≧5mm）
選配模塊：1.腐蝕液恒溫系統??2.腐蝕液循環過濾系統??3.超（兆）聲系統??4.全自動供液系統
??????????5.更全面的全自動烘干系統?6.消防系統?7.可結合客戶端通訊協定資料儲存、CIM系統、資料分析儲存建立管理
機臺特點：1.蝕刻工藝自動補藥液保證了工藝槽在運行過程中濃度的穩定性
?????????2.QDR沖洗模塊非常見排序式，可根據制程工藝設定
?????????3.集成自動烘干系統
?????????4.管路系統、電氣控制系統、伺服電機及絲杠導軌等關鍵核心部件均采用進口標準產品，配置模組化，維護保 ? ? ? ? ? 修便利， ?非期貨庫存品工廠內??均建立安全存量
?????????5.全自動化控制，幾何曲線加減速運動，沖擊小，運動平穩，機械臂定位精度高
?????????6.多級別用戶工藝數據庫，可供用戶使用和存儲
?????????7.作業區內有害氣體多種安全主動及被動保護相結合，保證操作人員作業環境及人聲安全
?????????8.客制化設計能力佳，高設計能力滿足客戶制程工藝需要
? ?機械臂裝置：Robo的工藝路徑種類???N種（設備出廠前載入PLC內）
? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? 機械手傳送定位精度????≦?0.3mm???
? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? 機械臂走 ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?前后位移一對一
? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? 轉向、前后、左右、上下位移一對四
? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? 全程轉向左右、前后、上下位移一對多槽等
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